Микроэлектромеханические переключатели на основе аморфных алмазоподобных углеродных пленок
Власенко В.А.1, Беляев С.Н.1, Ефимов А.Г.1, Ильичев Э.А.1, Маленкович М.Д.1, Немировский В.Э.1, Полторацкий Э.А.1, Горячев А.В.1, Попков А.Ф.1, Фролова Г.В.1, Шупегин М.Л.1
1ФГУП НИИ физических проблем им. Ф.В. Лукина, Москва, Зеленоград Московский институт стали и сплавов Государственный Московский институт электронной техники, Зеленоград
Email: polt@niifp.ru
Поступила в редакцию: 23 марта 2009 г.
Выставление онлайн: 20 июля 2009 г.
Представляются результаты разработки и исследований однокристальных микроэлектромеханических переключателей (полная пара), подвижные элементы которых выполнены на основе высокоомных аморфных углеродных алмазоподобных пленок (АПП). Использование в RF MEMS переключателях АПП позволяет устранить эффекты "залипания" электродов, существенно понизить потери сигнала (до 100 dB), реализовать высокие скорости переключений (~ 10 ns) при сверхвысоких частотах коммутируемого сигнала (до 2 GHz на подложках из кремния и свыше 10 GHz на положках из арсенида галлия). PACS: 84.40.Dc, 84.40.Lj, 07.10.Cm, 85.85.+j
- Goldsmith J.C., Lin T.-H., Powers B., Wu W.-R., Norvell B. // Tech. Digest of IEEE Microwave Theory and Techniques Symp. 1995. P. 91--94
- Rebeir G.M. RF MEMS Theory. Design and Technology. Wiley, 2003
- Varadan V.K., Vinoy K.J., Jose K.A. RF MEMS and their applications. John Wiley and Sons Ltd, 2003
- Dorfman V.F., Pypkin D.N. // Surf. and Coat. Technol. 1991. V. 48. P. 193--198
- Shaw K.W., Zhang Z.E., MacDonald N.C. // Sensors and Actuators A: Physical. 1994. V. 40. P. 63--70
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
© 2024 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук