Моделирование процессов образования атомарного азота в плазме тлеющего разряда в смеси азот-аргон
Хомич В.А.1, Рябцев А.В.1, Дидык Е.Г.1, Жовтянский В.А.1, Назаренко В.Г.1
1Институт физики НАН Украины, Киев Институт газа НАН Украины, Киев
Email: zhovt@ukr.net
Поступила в редакцию: 7 апреля 2010 г.
Выставление онлайн: 19 сентября 2010 г.
Рассмотрена задача определения содержания атомарного азота как активной компоненты, ответственной за эффективность технологий модификации поверхности металлов в плазме стационарного тлеющего разряда низкого давления в смеси азот-аргон, широко применяемой в этих технологиях. Влияние состава смеси на скоростную константу диссоциации молекулярного азота, ответственной за продуцирование атомарного азота, определено расчетным путем, а параметры плазмы - экспериментально, на основе измерений двойными зондами. Функция распределения электронов по энергиям находилась путем численного интегрирования уравнения Больцмана, записанного в двучленном приближении для смеси молекулярного азота и аргона.
- Арзамасов Б.Н., Братухин А.Г., Елисеев Ю.С., Панайотти Т.А. Ионная химико-термическая обработка сплавов. М.: Изд-во МГТУ им. Н.Э. Баумана, 1999. 400 с
- Ахмадеев Ю.Х., Гончаренко И.М., Иванов Ю.Ф. и др. // Письма в ЖТФ. 2005. Т. 31. В. 13. С. 24
- Kitajima T., Nakano T., Samukawa S., Makabe T. // Plasma Sources Sci. Technol. 2008. V. 17. P. 024018
- Словецкий Д.И. Химия плазмы. М.: Атомиздат, 1974. Вып. 1, С. 156
- Цендин Л.Д. // УФН. 2010. Т. 180. N 2. С. 1
- Кудрявцев А.А., Морин А.В., Цендин Л.Д. // ЖТФ. 2008. Т. 78. В. 8. С. 71
- Жовтянский В.А., Лелюх Ю.И. // Письма в ЖТФ. 2009. Т. 35. В. 15. С. 81
- Карп И.Н., Назаренко В.Г., Дидык Е.Г. и др. // Экотехнологии и ресурсосбережение. 2005. N 1. С. 68
- Головинский П.М., Горецкий В.П., Рябцев А.В. и др. // ЖТФ. 1991. Т. 61. В. 10. С. 46
- Елецкий А.В., Палкина Л.А., Смирнов Б.М. Явления переноса в слабоионизованной плазме. М.: Атомиздат, 1975. 333 с
- Gillant C.J., Tennyson J., McLaughlin D.M., Burke P.G. // J. Phys. B: At. Mol. Opt. Phys. 1996. C. 29. P. 1531
- Ajello J.M. // Jour. Chem. Phys. 1970. V. 53. N 3. P. 1156
- Vicic M., Poparic G., Belic D.S. // J. Phys. B: At. Mol. Opt. Phys. 1996. V. 29. P. 1273
- Straub H.C., Renault P., Lindsay B.G. et al. // Phys. Rev. A. 1996. V. 54. N 3. P. 2146
- Frost F.S., Phelps A.// Phys. Rev. 1964. V. 136A. P. 1538
- Mityureva A.A., Smirnov V.V. // J. Phys. B: At. Mol. Opt. Phys. 1994. V. 27. P. 1869
- Hyman H.A. // Phys. Rev. A. 1979. V. 20. P. 855
- Shchedrin A.I., Levko D.S., Ryabtsev A.V. et al. // Вопросы атомной науки и техники. 2008. N 4. P. 159
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
© 2024 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук