Новый подход в метрологии в нанообласти
Максимов С.К.1, Максимов К.С.1
1Московский государственный институт электронной техники АНО "Аналитика и высокие технологии"
Email: maksimov_sk@comtv.ru
Поступила в редакцию: 19 мая 2010 г.
Выставление онлайн: 19 сентября 2010 г.
Даны представления о пофракционном методе контроля в нанообласти и описана ключевая стадия метода, связанная с определением формы и размеров нанообъектов по РЭМ изображениям, полученным при разных сходимостях электронного зонда.
- Dresselhaus M.S., Lin Yu.-M., Rabin O. et al. Nanowires. In Springer Handbook of Nanotechology. Ed. B. Bharat. Springer 2007. P. 113--160
- Sayes C.M., Warheit D.B. // International J. of Nanotechnology. 2008. V. 5. P. 15--29
- Bawendi M.G., Jensen K.F. USA Patent No 6,774, 362. Invention Control (2004)
- Nanotechnology: Consequences for Human Health and Environment / Eds Hester R.E., Harrison R.M. RSC Publishing. 2007. P. 149
- Максимов С.К., Максимов К.С. // Российские нанотехнологии. 2009. Т. 4. N 3--4. С. 59--70
- Максимов С.К., Максимов К.С. // Нанотехника. 2009. Т. 18. С. 5--12
- Максимов С.К., Максимов К.С. // Письма в ЖТФ. 2009. Т. 35. В. 5. С. 58--65
- Goldstein J., Newbury D., Joy D. et al. Scanning Electron Microscopy and X-Ray Microanalysis. (Kluwer Acad. \& Plenum Publ., N. Y., USA, 2003)
- Liu J. High resolution scanning electron microscopy // Handbook of Microscopy for Nanotecnology / Eds Yao N., Wang Zh.L. (USA, Kluwer Acad. Publ. 2005). P. 325--360
- Максимов К.С. // Изв. вузов. Электроника. 2009. N 2. С. 69--73
- Новиков Ю.А., Раков А.В., Тодуа П.А. // Труды Ин-та общей физики РАН им. А.М. Прохорова. 2006. Т. 62. С. 3--12
- Dingley D. // J. of Microscopy. 2004. V. 213. P. 214--224
- Kawasaki T., Yoshida T., Ose Y., Todokoro H. USA Patent No 7,199,365 Electron beam apparatus with aberration corrector (2007)
- Kitsuki, Aoki K., Sato M. USA Patent. No 7,442,929 Scanning electron microscope (2008)
- Bhushan B., Marti O. Scanning Probe Microscopy --- Principle of Operation. Instrumentation and Probes, in Springer Handbook of Nanotechnology. Ed. B. Bharat. Springer 2007. P. 239--278.
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
© 2025 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук
