Вязкоупругое гофрирование системы металлическая пленка-полимерный подслой под действием сжимающих напряжений
Шугуров А.Р.1, Козельская А.И.1, Панин А.В.1
1Институт физики прочности и материаловедения СО РАН, Томск, Россия
Email: shugurov@ispms.tsc.ru
Поступила в редакцию: 22 апреля 2011 г.
Выставление онлайн: 19 сентября 2011 г.
Методом атомно-силовой микроскопии исследованы закономерности гофрирования тонких пленок Al на подложке Si с подслоем полистирола при термическом воздействии. Измерение амплитуды и длины волны складок позволило выявить стадийность процесса гофрирования при различных температурах. Показано, что эволюция складок гофра в процессе отжига регулируется периодическим распределением нормальных и касательных напряжений вдоль границы раздела пленка-подслой.
- Liu C. // Adv. Mater. 2007. V. 19. P. 3783-3790
- Lacour S.P., Wagner S., Huang Z., Suo Z. // Appl. Phys. Lett. 2003. V. 82 (15). P. 2404-2406
- Huang R., Im S.H. // Phys. Rev. E. 2006. V. 74. P. 026214 (1-12)
- Gong X.-Y., Clarke D.R. // Oxid. Met. 1998. V. 50 (5-6). P. 355-376
- Ferry J.D. Viscoelastic Properties of Polymers. New York: Wiley, 1980. 641 р.
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.