Разработка метода расчета фактора корреляции рельефов подложки и пленочного покрытия по данным атомно-силовой микроскопии
Грищенко Ю.В.1, Занавескин М.Л.1, Марченков А.Н.1
1Национальный исследовательский центр "Курчатовский институт", НБИК-Центр, Москва
Email: grishchenko.jv@gmail.com
Поступила в редакцию: 28 марта 2012 г.
Выставление онлайн: 20 августа 2012 г.
Представлена методика, позволяющая по данным атомно-силовой микроскопии проводить расчет фактора корреляции рельефов подложки и пленочного покрытия, который является функцией пространственной частоты и характеризует степень согласованности рельефов. Изучено влияние артефактов атомно-силовой микроскопии на рассчитываемый фактор корреляции и определен диапазон достоверных пространственных частот. Рассчитан фактор корреляции многослойного зеркального покрытия и подложки.
- Cho H.J., Shin M.J., Lee J.C. // Appl. Opt. 2006. V. 45. I. 7. P. 1440--1446
- Valkovskiy G.A., Baidakova M.V., Brunkov P.N., Konnikov S.G., Yagovkina M.A., Zadiranov Ju.M. // Phys. Status Solidi. A. 2011. V. 208. I. 11. P. 2623--2628
- Kozhevnikov I.V. // Nuclear Instruments and Methods in Physics Research Section. A. 2003. V. 498. P. 482--495
- Peverini L., Ziegler E., Bigault T., Kozhevnikov I. // Phys. Rev. B. 2005. V. 72. P. 045445-(1--6)
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
© 2024 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук