Отжиг радиационно-компенсированного карбида кремния
Лебедев А.А.1, Богданова Е.В.1, Григорьева М.В.1, Лебедев С.П.1, Козловский В.В.1
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург Санкт-Петербургский государственный политехнический университет
Email: shura.lebe@mail.ioffe.ru
Поступила в редакцию: 3 мая 2012 г.
Выставление онлайн: 19 сентября 2012 г.
Было проведено исследование процессов восстановления проводимости радиационно-компенсированных эпитаксиальных слоев различных политипов карбида кремния p-типа проводимости. Показано, что созданная облучением компенсация SiC сохраняется при отжигах =< 1000oC. Практически полное восстановление проводимости происходит при T<= 1200oC. Данный характер отжига радиационной компенсации не зависит от политипа карбида кремния и исходного уровня легирования эпитаксиального слоя. Определенные температуры полного отжига значительно превосходят рабочие температуры приборов SiC.
- Козловский В.В. Модифицирование полупроводников пучками протонов. СПб.: Наука, 2003
- Matsuura H., Aso K., Kagamihara S., Iwata H., Ishida T., Nishikawa K. // Appl. Phys. Lett. 2003. V. 83. P. 4981
- Matsura H., Minohara N., Oshima T. // J. Appl. Phys. 2008. V. 104. P. 043 702
- Reshanov S.A., Belijakowa S., Zippelius B., Danno K., Alferi K., Kimoto T., Onodo S., Ohshima T., Fei Yan, Devaty R.P., Choyke W.J. // Mater. Science Forum. 2010. V. 645--648. P. 423--426
- Zolnai Z., Son N.T., Hallin C., Janzen E. // J. Appl. Phys. 2004. V. 96. P. 2406
- Luo J.M., Zhong Z.Q., Gong M., Fung S., Ling C.C. // J. Appl. Phys. 2009. V. 105. P. 063 711
- Savkina N.S., Lebedev A.A., Davydov D.V., Strel'chuk A.M., Tregubova A.S., Yagovkina M.A. // Mat. Science and Eng. B. 1999. V. 61--62. P. 165
- Lebedev A.A., Veinger A.I., Davydov D.V., Strel'cuk A.M., Kozlovski V.V., Savkina N.S. // J. Appl. Phys. 2000. V. 88. P. 6265
- Емцев В.В., Иванов А.М., Козловский В.В., Лебедев А.А., Оганесян Г.А., Строкан Н.Б., Wagner G. // ФТП. 2012. Т. 46. В. 4. P. 473--481
- Henry L., Barthe M.-F., Cordel C., Desgardin P., Blondiaux G., Arpiainen S., Liszkay L. // Phys. Rev. B. 2003. V. 67. P. 115210
- Weidner M., Frank T., Pensl G., Kawasuso A., Itoh H., Krause-Renberg R. // Physica. 2001. V. 308--310. P. 633
- Bardeleben H.J., Cantin J.L., Vickridge I., Battistig G. // Phys. Rev. B. 2000. V. 62. P. 10126
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
© 2024 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук