Расчет контраста протяженных дефектов в методе индуцированного рентгеновским пучком тока
Шабельникова Я.Л.1, Якимов Е.Б.1, Григорьев М.В.1, Фахртдинов Р.Р.1, Бушуев В.А.1
1Институт проблем технологии микроэлектроники и особочистых материалов РАН, Черноголовка Московский государственный университет им. М.В. Ломоносова
Email: janeshabeln@yandex.ru
Поступила в редакцию: 20 марта 2012 г.
Выставление онлайн: 19 сентября 2012 г.
Для метода наведенного рентгеновского пучком тока (XBIC) рассчитан контраст протяженных дефектов - дислокаций и границ зерен. Показано, что максимальный контраст растет при увеличении диффузионной длины неравновесных носителей заряда и уменьшается при увеличении ширины рентгеновского зонда. Приведено сравнение модельных и экспериментально измеренных профилей контраста наведенного тока от границ зерен.
- Vyvenko O.F., Buonassisi T., Istratov A.A. et al. // J. Appl. Phys. 2002. V. 91. N 6. P. 3614--3617
- Leamy H.J. // J. Appl. Phys. 1982. V. 53. N 6. P. R51--R80
- Якимов Е.Б. // Заводская лаборатория. 2002. Т. 68. N 2. С. 63--69
- Donolato C. // Semicond. Sci. Technol. 1992. V. 7. P. 37--43
- Yakimov E.B. // Solid State Phenomena. 2010. V. 156--158. P. 247--250
- Якимов Е.Б. // Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования. 2010. N 9. С. 10--12
- Fahrtdinov R.R., Feklisova O.V., Grigoriev M.V. et al. // Solid State Phenoma. 2011. V. 178--179. P. 226--229
- Fahrtdinov R.R., Feklisova O.V., Grigoriev M.V. et al. // Rev. Sci. Instr. 2011. V. 82. P. 093 702--093 705
- Donolato C. // J. Appl. Phys. 1983. V. 54. N 3. P. 1314--1322
- Donolato C. // J. Appl. Phys. 1998. V. 84. N 5. P. 2656--2664
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
© 2024 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук