Плазмохимический синтез нитридных соединений на основе алюминия в плазме вакуумно-дугового разряда
Быстров Ю.А.1, Ветров Н.З.1, Лисенков А.А.1
1Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет "ЛЭТИ" ЗАО "С.Е.Д.-СПб", Санкт-Петербург Институт проблем машиноведения РАН (ИПМаш РАН), Санкт-Петербург, Россия
Email: LISran@yandex.ru
Поступила в редакцию: 14 июня 2012 г.
Выставление онлайн: 19 сентября 2012 г.
Предложен вакуумно-дуговой способ плазмохимического синтеза нитридных соединений на основе алюминия (AlN и Ti-Al-N). Изучены состав и структура формируемых покрытий. Показано, что при условии очистки плазменного потока от капельных образований, за счет управления разрядным током, распределением плотности ионного тока в рабочем объеме и давлением газа, удается эффективно управлять составом и структурой формируемого покрытия.
- Ivanovskij A.L., Zhukov W.P., Gubanov W.A. The electronic structure of nonstoichiometric carbides and nitrides of transition metals. M.: Nauka, 1990. 224 p
- Заяц Н.С., Бойко В.Г., Генцарь П.А. и др. // ФТП. 2008. Т. 42. В. 2. С. 195--198
- Брудный В.Н., Кособуцкий А.В., Колин Н.Г. // ФТТ. 2011. Т. 53. В. 4. С. 633--641
- Вольфсон А.А., Мохов Е.Н. // ФТП. 2010. Т. 44. В. 10. С. 1430--1432
- Быстров Ю.А., Ветров Н.З., Лисенков А.А. // Письма в ЖТФ. 2008. Т. 34. В. 17. С. 20--25
- Пат. РФ N 2039849. МКИ C23C14/32, N 5031104/10. Вакуумно-дуговое устройство / И.С. Абрамов, Ю.А. Быстров, А.А. Лисенков и др.; заявл. 09.03.92; опубл. 1995. Бюл. N 20
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
© 2024 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук