Фотомодуляционная ИК фурье-спектроскопия полупроводниковых структур: особенности фазовой коррекции и применение метода
Фирсов Д.Д.1, Комков О.С.1
1Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет "ЛЭТИ" им. В.И. Ульянова (Ленина), Санкт-Петербург, Россия
Email: d.d.firsov@gmail.com
Поступила в редакцию: 11 июля 2013 г.
Выставление онлайн: 19 ноября 2013 г.
Реализован метод измерения фотоотражения на основе инфракрасного фурье-спектрометра. Выявлены особенности применения фазовой коррекции, необходимые для сохранения информации о знаке спектра. В ближнем инфракрасном диапазоне метод был применен для измерения энергетического спектра носителей заряда в одиночных квантовых ямах InxGa1-xAs/GaAs. В этом диапазоне наблюдалось хорошее согласие с результатами, полученными для тех же образцов на дифракционном спектрометре. В среднем ИК диапазоне развиваемый метод фотомодуляционной фурье-спектроскопии продемонстрирован при измерении фотоотражения эпитаксиальных слоев InSb (в интервале длин волн 2-10 mum).
- Hosea T.J.C., Merrick M., Murdin B.N. // Phys. Stat. Sol. (a). 2005. V. 202. I. 7. P. 1233--1243
- Jun Shao, Wei Lu, Fangyu Yue, Xiang Lu, Wei Huang, Zhifeng Li, Shaoling Guo, Junhao Chu // Rev. Sci. Instrum. 2007. V. 78. I. 1. A. 01311
- Motyka M., Sek G., Misiewicz J., Bauer A., Dallner M., Hofling S. // Appl. Phys. Express. 2009. V. 2. A. 126 505
- Jun Shao, Lu Chen, Xiang Lu, Wei Lu, Li He, Shaoling Guo, Junhao Chu // Appl. Phys. Lett. 2009. V. 95. I. 1. A. 041 908
- Griffiths P.R., De Haseth J.A. Fourier Transform Infrared Spectrometry. Hoboken, New Jersey: Wiley \& Sons, 2007
- Белл Р.Дж. Введение в фурье-спектроскопию. Пер. с англ. М.: Мир, 1975
- Pikhtin A.N., Komkov O.S., Bugge F. // Phys. Stat. Sol. (a). 2005. V. 202. I. 7. P. 1270--1274
- Комков О.С., Пихтин А.Н., Жиляев Ю.В. // Известия вузов. Материалы электронной техники. 2011. Т. 53. В. 1. С. 45--48
- Пихтин А.Н., Комков О.С., Базаров К.В. // ФТП. 2006. Т. 40. В. 5. С. 608--613
- Gronholz J., Herres W. // Instruments and Computers. 1985. V. 3. P. 10--16
- Mertz L. Transformations in Optics. New York: John Wiley and Sons, 1965
- Forman M.L., Steel W.H., Vanasee G.A. // J. Opt. Soc. Am. 1966. V. 56. I. 1. P. 59--61
- Hutson S.M., Braiman M.S. // Appl. Spectroscopy. 1998. V. 52. N 7. P. 974--984
- Hosea T.J.C. // Phys. Stat. Sol. (b). 1995. V. 189. I. 2. P. 531--542
- Littler C.L., Seller D.G. // Appl. Phys. Lett. 1985. V. 46. I. 10. P. 986--988
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.