Нелинейный эффект образования сильно модифицированного слоя при УФ лазерном воздействии на полимерную пленку
Александров А.П.1, Бабин А.А.1, Битюрин Н.М.1, Муравьев С.В.1, Фельдштейн Ф.И.1
1Федеральный исследовательский центр Институт прикладной физики Российской академии наук, Нижний Новгород, Россия
Поступила в редакцию: 27 декабря 1994 г.
Выставление онлайн: 19 марта 1995 г.
- Baker A.K., Dyer P.E. Appl. Phys. A. 1993. V. 57. P. 543--544
- Phillips H.M., Wahl S., Sauerbrey R. Appl. Phys. Lett. 1993. V. 62. N 20. P. 2572--2577
- Askins C.G., Tsai T.-E., Williams G.M. et al. Opt. Lett. 1992. V. 17. P. 833--835
- Babin A.A., Bityurin N.M., Polyakov A.V., Fel'dshtein F.I.,\commes Khvatova N.L. Lаser Phys. 1992. V. 2. N 5. P. 805--810
- Моро У. Микролитография. Ч. 2. М.: Мир, 1990. С. 1235. (\it Moreau W. Semiconductor Lithography. Plenum Press, New York and London, 1988)
- Валиев К.А., Великов Л.В., Душенков С.Д., Сулимов Н.А. Поверхность. 1987. N 9. С. 94--98
- Раков А.В., Щучкин А.Г. Труды ИОФАН. 1987. Т. 8. С. 87--100
- Валиев К.А., Великов Л.В., Дорофеев Ю.И., Крамаренко А.С., \it Скурат В.Е., Тальрозе В.Л. Поверхность. 1985. N 6. С. 86
- Александров А.П., Битюрин Н.М., Генкин В.Н., Миллер А.М. Поверхность. 1987. N 10. С. 106--114
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.