Получение акустических изображений внутренних слоев полупроводниковых структур на высоких частотах
Преображенский М.Н.1, Репин В.Н.1, Козлов В.А.1, Костина Л.С.1
1Институт микроэлектроники РАН Ярославль Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе С.-Петербург
Поступила в редакцию: 19 декабря 1994 г.
Выставление онлайн: 19 апреля 1996 г.
- Briggs G.A.D. Repts. Progr. Phys. 1992. V. 55. N 7. P. 851--909
- Кайно Г. Акустические волны. М.: Мир, 1990. 652 с
- Atalar A. IEEE transactions on sonics and ultrasonics. 1985. V. SU-32. N 2. P. 164--167
- Zhang D., Crean G.M. Electronics letters. 21 st November 1991. V. 27. P. 2248--2250
- Tan M.R.T., Ransom H.L., Jr., Cutler C.C., Chodorow M. Ultrason. Symp. Proc. Dallas, Tex., 14--16 Nov., 1984. V. 2. N.Y., 1984. P. 598--603
- Germain L., Cheeke J.D.N. IEEE Ultrason. Symp. Denver, Colo, Oct. 14--16, 1987. Proc. V. 2. N.Y., 1987. С. 801--805
- Волле В.М., Воронков В.Б., Грехов И.В., Козлов В.А. Электротехника. 1992. В. 2. С. 58--64
- Grekhov I.V., Kostina L.S., Belakova E.I., Rolnik I.A. Proc. of the 6th Int. Symp. on Power Sem. Dev. and IC. Davos, 1994. P. 233--236
- Ермолова И.Е., Алешин Н.П., Потапова А.И. Неразрушающий контроль. Кн. 2. Акустические методы контроля. М.: Высш. шк., 1991. 288 с
- Воронков В.Б., Грехов И.В., Козлов В.А. Физика и техника полупроводников. 1991. Т. 25. В. 2. С. 208--215
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
© 2024 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук