Количественный оже-анализ приповерхностных структур
Плюснин Н.И.1
1Институт автоматики и процессов управления ДВО РАН Владивосток
Поступила в редакцию: 6 марта 1996 г.
Выставление онлайн: 19 сентября 1996 г.
С использованием модельных представлений выведены зависимости глубины зондирования и фактора обратного рассеяния электронов от профиля объемной концентрации атомов и получена уточненная формула для количественного Оже-анализа поперечно-неоднородных многокомпонентных приповерхностных структур.
- Briggs D., Seah M.P. Practical Surface Analysis by Auger- and X-ray Photoelectron Spectroscopy. New York: Wiley, 1985. 400 p
- Linsmeier Ch. Vacuum. 1994. V. 45. P. 673--689
- Wang Q., Zhang Q.J., Hua Z.Y. Appl. Surf. Sci. 1985. V. 22/23. P. 160--167
- Plusnin N.I. Proc. Jap.-Rus. Sem. Semic. Surf., Osaka, Nov. 13--17, 1995. Osaka: Inst. of Technol., 1995. P. 62--68
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
© 2024 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук