Эрозионная репликация структур на основе карбида кремния
Баженов О.Г., Карачинов В.А.
Поступила в редакцию: 14 июня 1996 г.
Выставление онлайн: 20 октября 1996 г.
- Водаков Ю.А., Ломакина Г.А., Мохов Е.Н. Легирование полупроводников. М.: Наука, 1982. С. 230--233
- Ильин В.А., Карачинов В.А., Таиров Ю.М., Цветков В.Ф. Письма в ЖТФ. 1985. Т. 11. В. 12. С. 749--752
- Карачинов В.А. Тез. докл. международного семинара "Полупроводниковый карбид кремния и приборы на его основе". Новгород, 1995. С. 72--73
- Долотов Н.И., Левчук В.И., Макаров В.В., Таиров Ю.М., Цветков В.Ф. Физика и химия обраб. материалов. 1986. N 4. С. 69--71
- Карачинов В.А. Межвузовский сборник. Новгород: НПИ, 1989 С. 81--86
- Максимов А.Ю., Мальцев А.А., Юшин Н.К., Бараш И.С. Письма в ЖТФ. 1995. Т. 21. Вып. 10. С. 20--24
- Розенберг Л.Д. Физические основы ультразвуковой технологии. М.: Наука, 1970. 685 с
- Григорьянц А.Г. Основы лазерной обработки материалов. М.: Машиностроение, 1989. 243 с
- Мицкевич Н.К., Некрашевич И.Г. Электроэрозионная обработка металлов. М.: Наука и техника, 1988. 216 с
- Андреев А.Н., Трегубова А.С., Щеглов М.П., Растегаев В.П., Дорожкин С.И., Челноков В.Е. ФТП. 1995. Т. 29. В. 10. С. 1828--1832
- Цветков В.Ф. / Изв. ЛЭТИ. Науч. тр. 1984. В. 338. С. 3--8
- Suzuki A., Matsuami H., Tanaka T. J. Electrochemical Sоciety. 1978. V. 125. P. 1896--1897
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
© 2024 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук