Использование триэтилгаллия для легирования эпитаксиальных слоев кремния
Самойлов Н.А.1, Шутов С.В.1
1Херсонский индустриальный институт
Поступила в редакцию: 22 июля 1996 г.
Выставление онлайн: 19 ноября 1996 г.
- Самойлов Н.А., Пятак И.Л. Электронная техника. Сер. Материалы. 1992. В. 2(149)--3(150). С. 63--64
- Самойлов Н.А., Шутов С.В. Петербургский журнал электроники. 1995. В. 1. С. 32--34
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.