Исследование процесса сухого травления нитрида алюминия ионным пучком
Демидов Д.М.1, Леус Р.В.1, Чалый В.П.1
1Центр перспективных технологий и разработок, С.-Петербург
Поступила в редакцию: 5 февраля 1997 г.
Выставление онлайн: 20 мая 1997 г.
Проведено сравнительное исследование процесса сухого травления AlN ионным пучком. Определены скорости травления в зависимости от параметров процесса для слоев, полученных газофазной эпитаксией и с помощью магнетронного распыления. Продемонстрирована возможность формирования заданного рельефа (системы мезаполосков) в слое AlN. Показано, что данный метод может быть использован для планаризации поверхности AlN.
- Morkoc H., Strite S., Gao G.B., Lin M.E., Sverdlov B., Burns M. // J. Appl. Phys. 1994. C. 76. N 3. P. 1363--1398
- Gloersen P.G. // J. Vac. Sci. Technol. 1975. V. 12. N 1. P. 28--35
- Ивановский Г.Ф., Петров В.И. // Ионно-плазменная обработка материалов. М.: Радио и связь, 1986. 281 с
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
© 2024 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук