Теоретическое описание высокотемпературной имплантации карбида кремния ионами N+ и Al+
Куликов Д.В.1, Трушин Ю.В.1, Янков Р.А.1, Пецольдт Й.1, Скорупа В.1
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, С.-Петербург, Россия Исследовательский центр Россендорф, Дрезден, Германия Технический университет Ильменау, Ильменау, Германия
Поступила в редакцию: 28 августа 1997 г.
Выставление онлайн: 20 декабря 1997 г.
Теоретически исследовалась эволюция дефектной структуры в карбиде кремния (6H-SiC) при имплантации ионами N+ и Al+ разных энергий. Получено удовлетворительное согласие рассчитанных распределений дефектов и экспериментальных данных. Численно оценены следующие кинетические параметры карбида кремния: энергия миграции межузельных атомов кремния, параметры рекомбинации вакансий и межузлий в подсистемах углерода и кремния.
- Yankov R.A, Hatzopoulos N., Fukarek W., Voelskow M., Hera V., Pezoldt J., Skorupa W. // Mat. Res. Symp. Proc. 1997. V. 438. P. 271-276
- Kharlamov V.S., Kulikov D.V., Truschin Yu.V., Tsigankov D.N., Yankov R.A., Voelskow M., Skorupa W., Pezoldt J. // International Workshop on New Approaches to Hi-tech Materials 97 (Nondestructive Testing and Computer Simulations in Materials Science and Engineering). Program and Abstracts. 9--12 June 1997. St. Petersburg, Russia. C2--13
- Янков Р.А., Фельсков М., Крайссиг У., Куликов Д.В., Пецольдт Й., Скорупа В., Трушин Ю.В., Харламов В.С., Циганков Д.Н. // Письма в ЖТФ. 1997. Т. 23. В. 6. С. 6--14
- Ber B.J., Merkulov A.V., Kharlamov V.S., Trushin Yu.V., Zhurkin E.E. // Tech. Phys. 1996. V. 41. N 3. P. 261--267
- Trushin Yu.V., Ber B.J., Kharlamov V.S., Zhurkin E.E. // J. Nucl. Mater. 1996. V. 233/237. P. 991--995
- Ber B.J., Kharlamov V.S., Trushin Yu.V., Merkulov A.V., Zhurkin E.E. // Proc. 10th Int. Conf. on Ion Beam Modification of Materials. Sept. 1--6, 1996. Albuquerque, New Mexico, USA. Tu29
- Choyke W.J., Pens G. // MRS Bulletin. March 1997. P. 25
- Tsvetkov V.F., Allen S.T., Kong H.C., Carter C.H., jr. // Proc. 6th Int. Conf. on Silicon Carbide and Related Materials, 1995 / Ed. by S. Nashikama, S. Yoshida, and H. Harima (Institute of Physics Conference Series. N 142. 1996). P. 17
- Huang H., Ghonien N. // J. Nucl. Mater. 1994. V. 212--215. P. 148--153
- Kulikov D.V., Suris R.A., Trushin Yu.V. // Supercond. Sci.\&Techn. 1995. V. 8. P. 303
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
© 2024 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук