Вышедшие номера
Диффузия эрбия в кремнии
Зайнабидинов С.1, Назиров Д.Э.1, Акбаров А.Ж.1, Иминов А.А.1, Тоштемиров Т.М.1
1Ташкентский государственный университет
Поступила в редакцию: 16 декабря 1996 г.
Выставление онлайн: 20 декабря 1997 г.

Исследована диффузия эрбия в кремнии электрическим методом. В интервале температур 1150-1250oC коэффициент диффузии эрбия увеличивается от 1.4· 10-13 до 6.2· 10-13 cm2· s-1. Полученные значения коэффициента диффузии эрбия в кремнии хорошо согласуются с данными, полученными методом меченых атомов.