Управление ионными потоками полями поверхностной ионно-звуковой волны
Азаренков Н.А.1, Бизюков А.А.1, Гапон А.В.1, Денисенко И.Б.1
1Харьковский государственный университет
Поступила в редакцию: 22 апреля 1997 г.
Выставление онлайн: 20 января 1998 г.
Впервые показано, что ПИЗВ могут быть применены для полировки, травления и нанесения покрытия. Предлагаемый метод обработки поверхностей прост и удобен, так как устройство для его реализации негромоздко и может быть легко изготовлено. По сравнению с использованием обычных ионных пучков предлагаемый метод обработки поверхностей позволяет получить большие токи частиц на обрабатываемую поверхность, что должно увеличить эффективность обработки материалов. Кроме того, возбуждаемые ПИЗВ являются собственными волнами, что само по себе уменьшает энергозатраты.
- Margot J. \& Moisan M. Microwave Discharges: Fundamentals and Applications / Ed. by Ferreira C.M. \& Moisan M. NATO ASI Series, Plenum. N.Y., 1993. V. B. 302. P. 141
- Aliev Yu. M., Ivanova K.M., Moisan M., Shivarova A.P. // Plasma Sоurces Sci. Technol. 1993. V. 2. P. 145--152
- Borges C.F.M., Moisan M., Gicquel A. // Diamond and Related Materials. 1995. V. 4. P. 149--154
- Кондратенко А.Н. Поверхностные и объемные волны в ограниченной плазме. М.: Энергоатомиздат, 1985. 232 с
- Хит Б.А., Мейер Т.М. Плазменная технология в производстве СБИС / Под ред. Н. Айспрука, Д. Брауна. М.: Мир, 1987. С. 322
- Matsui S., Yamato T., Aritome H., Namba S. // Jpn. J. Appl. Phys. 1980. V. 19 L. P. 126
- Somekh S. // J. Vac. Sci. Technol. 1976. V. 13. P. 1003
- Lee R.E. // J. Vac. Sci. Technol. V. 16. P. 164
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
© 2024 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук