Формирование алмазоподобной фазы в условиях преимущественного осаждения неалмазного углерода в плазме газового СВЧ-разряда с электронным циклотронным резонансом
Суздальцев С.Ю.1, Сысуев С.В.1, Яфаров Р.К.1
1Институт радиотехники и электроники РАН, Саратовский филиал
Поступила в редакцию: 7 мая 1997 г.
Выставление онлайн: 20 января 1998 г.
Получены пленки с размерами кристаллитов порядка до 0.5 mum. Представлены результаты комплексных исследований данных пленок.
- Руденко А.П., Кулакова И.И. // Вестн. Моск. ун-та. Сер. 2. Химия. 1993. Т. 34. N 6
- Былинкина Н.Н., Муштакова С.П., Олейник В.А. и др. // Письма в ЖТФ. 1996. Т. 22. В. 6. С. 43--47
- Былинкина Н.Н., Муштакова С.П., Суздальцев С. Ю. и др. // Письма в ЖТФ. 1996. Т. 22. В. 21. С. 88--93
- Уббелоде А.Р., Льюис Ф.А. Графит и его кристаллические соединения. М.: Мир, 1965. С. 185
- Blue M.D., Danielson G.C. // J. Appl. Phys. 1957. V. 28. N 5. P. 583
- Тонкие пленки. Взаимная диффузия и реакции / Пер. с англ. под ред. Дж. Поута, К. Ту, Дж. Мейера. М.: Мир, 1982. С. 576
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
© 2024 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук