Влияние кратковременного отжига на проводимость пористого кремния и переходное сопротивление контакта алюминий--пористый кремний
Зимин С.П.1, Комаров Е.П.1
1Ярославский государственный университет им. П.Г. Демидова
Поступила в редакцию: 22 июля 1997 г.
Выставление онлайн: 17 февраля 1998 г.
Проведены измерения переходных сопротивлений контакта алюминий-пористый кремний (Al-PS) и удельного сопротивления приповерхностной области пористого материала после кратковременного отжига в инертной среде в интервале температур 300-550oC. Показано, что параметры контактов определяются морфологией пор, температурой отжига и проведением операции плазмохимического травления. Для PS, сформированного на p-Si, обнаружен эффект уменьшения переходных сопротивлений при отжиге на несколько порядков. Показано, что в этом случае происходит резкое снижение удельного сопротивления приповерхностной области PS. Проведен анализ результатов с точки зрения пассивирующего действия водорода в пористом кремнии.
- Zimen S.P., Kusnetsov V.S., Prokaznikov A.V. // Appl. Surf. Sci. 1995. V. 91. P. 355--358
- Зимин С.П. // Письма в ЖТФ. 1995. Т. 21. В. 24. С. 46--50
- Валиев К.А., Дягилев В.Н., Лебедев В.И., Лубашевский А.В. Микромощные интегральные схемы. М.: Сов. радио. 1975. 256 с
- Зи С. Физика полупроводниковых приборов. М.: Мир, 1984. Т. 1. 456 с
- Pearton S.J., Corrbett J.W., Shi T.S. // Appl. Phys. A. 1987. V. 43. P. 153--195
- Мукашев Б.Н., Тамендаров М.Ф., Токмолдин С.Ж. // ФТП. 1992. Т. 26. В. 6. С. 1124--1133
- Курова И.А., Мелешко Н.В., Ларина Э.В. и др. // ФТП. 1996. Т. 30. В. 1. С. 12--16
- Allongue P., Henry de Villeneuve C., Pinsard L., Bernard M.C. // Appl. Phys. Lett. 1995. V. 67. P. 941--943
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
© 2024 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук