Интегральная решетка датчиков для анализа многокомпонентных газовых смесей
Анисимкин В.И.1, Верона Э.1, Земляков В.Е.1, Крышталь Р.Г.1, Медведь А.В.1
1Институт радиотехники и электроники РАН, Москва Институт акустики "О.М. Корбионо", СНИ, Рим
Поступила в редакцию: 29 января 1998 г.
Выставление онлайн: 20 июля 1998 г.
Предложен и экспериментально опробован новый элемент для распознавания газов в системах типа "электронный нос". Элемент состоит из набора датчиков, основанных на поверхностных акустических волнах (ПАВ), расположенных на одной анизотропной подложке с единым газочувствительным покрытием для каждого из них. Индивидуальность датчиков обеспечивается исключительно за счет упругой анизотропии монокристаллической подложки: при изменении направления распространения волны через гозочувствительную пленку, расположенную на анизотропной подложке, меняются парциальные составляющие механического смещения волны и соответствующие им вклады в результирующий "отклик" ПАВ.
- Vlasov Yu.C. // Proc. 3rd NEXUSPAN Workshop on Microsystems in Environmental Monitoring. Moscow, Russia, 1996. P. 1--10
- Holmberg M., Winquist F., Lundstrom I., Davide F., Natale C., D'Amico A. // Sensors and Actuators B. 1996. V. 35--36. P. 528--535
- Vlachos D., Avarisiotis J. // Sensors and Actuators B. 1996. V. 33. P. 77--82
- Anisimkin V.I., Kotelyanskii I.M., Fedosov V.I., Caliendo C., Verardi P., Verona E. // Proc. IEEE Ultrason. Symp. Seattle, USA, 1995. V. 1. P. 515--518
- Fedosov V.I., Anisimkin V.I., Kotelyanskii I.M., Calendo C., Verardi P., Verona E. // Proc. IEEE Ultrason. Symp. San Antonio, USA, 1996. V. 1. P. 207--212
- Anisimkin V.I., Verona E., D'Amico A. // II Nuovo Cimento. Note Brevi, 1989. V. 11D. N3. P. 503--508
- Анисимкин В.И., Котелянский И.М., Верона Э. // Поверхность. 1996. N 10. С. 20--27
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
© 2024 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук