Вышедшие номера
К вопросу о генерации радиационных дефектов ускоренными ионами в кремнии
Иванов А.М.1, Строкан Н.Б.1
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
Поступила в редакцию: 6 февраля 1998 г.
Выставление онлайн: 19 сентября 1998 г.

Прослежено за введением центров генерации носителей тока в чистом Si в идеологии взаимодействия неравновесных дефектов и носителей тока непосредственно в треке иона. Эксперимент на alpha-частицах с энергией 1.0-5.0 MeV дополнен результатами численного моделирования их торможения в Si. Показано, что первичные дефекты, возникшие в конце трека, образуют меньшее число генерационных центров. Это объясняется захватом компонентами пар Френкеля носителей тока, концентрация которых в треке имеет 3-кратное превышение к концу пробега. Происходящая перезарядка вакансий и межузельных атомов ускоряет и рекомбинацию и снижает число первичных дефектов, участвующих в последующем комплексообразовании.