Мониторинг (осаждаемой) интерференционной пленки методом дифференциального отражения света
Выставление онлайн: 19 сентября 1998 г.
Исследуется изменение отражения (дифференциальное отражение) света от интерференционной пленки в результате нанесения на нее сверхтонкого слоя. Методом возмущений получены формулы, описывающие дифференциальное отражение около минимумов и максимумов отражательной способности пленки. Показано, что эти формулы и соответствующие дифференциальные измерения дают возможность легко и однозначно определить толщину и показатель преломления не только сверхтонких поверхностных слоев, но и самих интерференционных пленок. Применение рассматриваемого метода оказывается особенно удобным в мониторинге процесса осаждения тонкопленочных структур.
- Herman I.P. Optical Diagnostics for Thin Film Processing. New York: Academic Press, 1996. 783 p
- Optical characterization of Epitaxial Semiconductor Layers / Ed. by G. Bauer, W. Richter. Berlin: Springer-Verlag, 1996. 429 p
- Mantese L., Rossow U., Aspnes D.E. // Appl. Surf. Sci. 1996. V. 107. P. 35--41
- Uwai K., Kobayashi N. // Appl. Surf. Sci. 1996. V. 107. P. 42--47
- Bleckmann L., Hunderi O., Richter W., Wold E. // Surf. Sci. 1996. V. 351. P. 277--284
- Brunner H., Mayer U., Hoffmann H. // Appl. Spectrosc. 1997. V. 51. N 2. P. 209--217
- McIntyre J.P.E., Aspnes D.E. // Surf. Sci. 1971. V. 24. P. 417--434
- McGilp J.F. // J. Phys.: Condens. Matter. 1990. V. 2. P. 7985--8006
- Pemble M.E., Armstrong S.R., Curry S.M. et al. // Faraday Discuss. 1993. V. 95. P. 199--217
- Адамсон П.В. // Опт. и спектр. 1996. Т. 80. В. 3. С. 512--523
- Rosental A., Adamson P., Gerst A., Niilisk A. // Appl. Surf. Sci. 1996. V. 107. P. 178--183
- Адамсон П.В. // Опт. и спектр. 1997. Т. 82. В. 3. С. 440--446
- Борн М., Вольф Э. Основы оптики. М., 1973. 720 с
- Schaaf P., Dejardin Ph., Schmitt A. // Rev. Phys. Appl. 1986. V. 21. P. 741--745
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
© 2024 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук