Полевая ионная микроскопия деформационных эффектов в приповерхностном объеме ионно-имплантированных металлов (Ir)
Ивченко В.А.1, Сюткин Н.Н.1
1Институт электрофизики Уральского отделения РАН, Екатеринбург, Россия
Поступила в редакцию: 2 ноября 1998 г.
Выставление онлайн: 17 февраля 1999 г.
Методом полевой ионной микроскопии установлен деформационный эффект воздействия ионной имплантации (E=20 keV, D=1018 ion/cm2, - j=300 muA/cm2) на приповерхностный объем чистого иридия. Эффект проявляется в повышенной плотности различного типа дефектов в приповерхностном объеме (~ 50 nm от облученной поверхности) материала.
- Ivchenko V.A., Syutkin N.N. // Appl. Surf. Sci. 1995. V. 87/88. P. 257--263
- Буренков А.Ф., Комаров Ф.Ф., Кумахов М.А., Темкин М.М. Пространственные распределения энергии, выделенной в каскаде атомных столкновений в твердых телах. М.: Энергоатомиздат, 1985. 248
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.