Образование молекул и кластеров оксида цинка в квазизамкнутом объеме реактивной газоразрядной плазмы
Бурылин Е.И.1, Веселов А.А.1, Веселов А.Г.1, Джумалиев А.С.1, Иванов С.Н.1, Кирясова О.А.1
1Саратовское отделение Института радиотехники и электроники РАН
Поступила в редакцию: 3 августа 1999 г.
Выставление онлайн: 19 марта 2000 г.
На примере пленок оксида цинка экспериментально установлено, что зарождение молекул и кластеров может происходить в объеме плазмы в зоне рекомбинационного горения в том случае, если длина свободного пробега не превышает размеров камеры. Зона зарождения достаточно узка, и положение ее сильно зависит от давления газов в камере. Пленки оксида цинка, выращенные в этой зоне, обладают текстурой с малым углом разориентации, малой толщиной текстуры зарождения и высокой пьезоактивностью.
- Данилин Б.С., Сырчин В.К. Магнетронные распылительные системы. М.: Радио и связь, 1982. 72 с
- Технология тонких пленок: Справочник / Под ред. Л. Майссела, Р. Глэнга. Нью-Йорк, 1970. Пер. с англ. под ред. М.И. Елинсона, Г.Г. Смолко. Т. 2. М.: Сов. радио, 1977. 768 с
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
© 2024 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук