Вышедшие номера
Образование молекул и кластеров оксида цинка в квазизамкнутом объеме реактивной газоразрядной плазмы
Бурылин Е.И.1, Веселов А.А.1, Веселов А.Г.1, Джумалиев А.С.1, Иванов С.Н.1, Кирясова О.А.1
1Саратовское отделение Института радиотехники и электроники РАН
Поступила в редакцию: 3 августа 1999 г.
Выставление онлайн: 19 марта 2000 г.

На примере пленок оксида цинка экспериментально установлено, что зарождение молекул и кластеров может происходить в объеме плазмы в зоне рекомбинационного горения в том случае, если длина свободного пробега не превышает размеров камеры. Зона зарождения достаточно узка, и положение ее сильно зависит от давления газов в камере. Пленки оксида цинка, выращенные в этой зоне, обладают текстурой с малым углом разориентации, малой толщиной текстуры зарождения и высокой пьезоактивностью.