Вышедшие номера
Ионное легирование кремния иттербием
Назыров Д.Э.1, Гончаров С.А.1, Суворов А.В.1
1Ташкентский государственный университет им. М. Улугбека, Узбекистан Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, С.-Петербург
Поступила в редакцию: 30 октября 1999 г.
Выставление онлайн: 19 марта 2000 г.

Приводятся результаты впервые выполненного исследования распределения постимплантационных нарушений при внедрении редкоземельного элемента иттербия в кремний. Получен профиль внедренного иттербия, который совпал с профилем радиационных нарушений.