О повышении чувствительности эллипсометрического метода исследования нанослоев
Романенко А.А.1
1Институт прикладной оптики НАНБ, Могилев
Email: ipo@physics.belpak.mogilev.by
Поступила в редакцию: 26 января 2000 г.
Выставление онлайн: 19 июня 2000 г.
Показано, что нанесение на высокопреломляющую подложку специально подобранной диэлектрической пленки существенно повышает чувствительность эллипсометрического метода исследования нанослоев. Представлено решение обратной задачи эллипсометрии.
- Ulman A. Ultrathin organic films. New York, 1991. P. 547
- Аззам P., Башара Н. Эллипсометрия и поляризованный свет. М.: Мир, 1981. 583 c
- Семененко А.И., Бобро В.В., Мардежов А.С. // Автометрия. 1998. N 1. С. 56--60
- Jiond Y., Zhang S., Shao H. et al. // Appl. Opt. 1995. V. 34. N 1. P. 169--173
- Адамсон П.Ф. // Оптика и спектроскопия. 1995. Т. 83. N 1. С. 169--171
- Кособукин В.А. // Оптика и спектроскопия. 1985. Т. 59. В. 2. С. 370--376
- Рожнов Г.В. // ЖЭТФ. 1993. Т. 103. В. 3. С. 740--757
- Аверьянов В.А., Федоров В.А., Ястребов С.Г. // ЖТФ. 1994. Т. 64. В. 1. С. 103--117
- Тихонов А.Н., Арсенин В.Я. Методы решения некорректных задач. М.: Наука, 1986. 285 с
- Романенко А.А., Сотский А.Б. // ЖТФ. 1998. Т. 68. N 4. С. 88--95
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
© 2024 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук