Буферные слои для роста YBa2Cu3O7-x пленок на кремнии
Разумов С.В.1, Тумаркин А.В.1
1С.-Петербургский государственный электротехнический университет
Email: thinfilm@eltech.ru
Поступила в редакцию: 28 февраля 2001 г.
Выставление онлайн: 19 июня 2001 г.
Приведены результаты исследований структурных характеристик буферных пленок SrTiO3, NdGaO3 и CeO2, полученных ионно-плазменным распылением на кремниевых подложках. Показано, что фазовый состав и внутренние напряжения в пленках строго зависят от температуры осаждения. Определены технологические условия роста преимущественно ориентированных пленок SrTiO3, NdGaO3 и CeO2. Структурное качество полученных буферных пленок достаточно для дальнейшего роста высококачественных пленок YBa2Cu3O7-x на кремниевых подложках.
- Vendik O.G., Hollmann E.K., Zaitsev A.G. et al. // J. of Phys. D: Appl. Phys. 1995. V. 28. P. 1457--1462
- Meerovich V., Sokolovsky V., Shter G.E. et al. // Phys. C 1997. V. 275. P. 119--125
- Vendik O.G., Kozyrev A.B., Samoilova T.B. et al. // Journ. of Supercond. 1997. V. 10. P. 63--67
- Hollmann E.K., Ivanov A.V., Kozyrev A.B. et al. // NATO ASI Series. Vol.: Microwave Physics and Technique. 1996. V. 33. P. 339--344
- Hollmann E.K., Vendik O.G., Melekh B.T. et al. // Supercond. Sci. Technol. 1994. V. 7. P. 609--620
- Гольман Е.К., Плоткин Д.А., Разумов С.В. // ЖТФ. 1999. Т. 69. В. 9. С. 132--136
- Hollmann E.K., Razumov S.V., Tumarkin A.V. // Physica C. 2000. V. 338. P. 246--250
- Гольман Е.К., Разумов С.В., Тумаркин А.В. // Письма в ЖТФ. 1999. Т. 25. В. 11. С. 47--51
- Афросимов В.В., Гольман Е.К., Ильин Р.Н. и др. // Письма в ЖТФ. 1998. Т. 24. В. 1. С. 91--95
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
© 2024 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук