Рассматриваются тепловые условия функционирования слоя металлизации, нанесенного на монокристаллическую подложку кремния, при пропускании через нее одиночных импульсов тока плотностью j=(1... 8)· 10¹⁰ A/m² и длительностью tau=50... 800 mus. Установлены механизмы необратимой деградации пары алюминий-кремний при импульсном токовом воздействии, проявляемые в контактном плавлении анализируемой структуры и локальном оплавлении слоя металлизации. Предложены методы идентификации этих явлений и способы определения численных значений критических плотностей тока j_k. Показано, что зависимость j_k от длительности токового импульса подчиняется степенной зависимости j_k~ 1/[4 ]tau. Обнаружена генерация линейных дефектов в области максимальных температурных градиентов тестовой структуры при прохождении одиночных токовых импульсов j<= 5· 10¹⁰ A/m² и tau<= 200 mus.

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.