Деградационные процессы в системе алюминий--кремний при импульсных электрических воздействиях
Скворцов А.А.1, Орлов А.М.1, Саланов А.А.1
1Ульяновский государственный университет
Email: scvor@sv.uven.ru
Поступила в редакцию: 11 мая 2001 г.
Выставление онлайн: 19 сентября 2001 г.
Рассматриваются тепловые условия функционирования слоя металлизации, нанесенного на монокристаллическую подложку кремния, при пропускании через нее одиночных импульсов тока плотностью j=(1... 8)· 1010 A/m2 и длительностью tau=50... 800 mus. Установлены механизмы необратимой деградации пары алюминий-кремний при импульсном токовом воздействии, проявляемые в контактном плавлении анализируемой структуры и локальном оплавлении слоя металлизации. Предложены методы идентификации этих явлений и способы определения численных значений критических плотностей тока jk. Показано, что зависимость jk от длительности токового импульса подчиняется степенной зависимости jk~ 1/[4 ]tau. Обнаружена генерация линейных дефектов в области максимальных температурных градиентов тестовой структуры при прохождении одиночных токовых импульсов j<= 5· 1010 A/m2 и tau<= 200 mus.
- Валиев К.А., Орликовский А.А., Васильев А.Г., Лукичев В.Ф. // Микроэлектроника. 1990. Т. 19. N 2. С. 116--131
- Burggraff P. // Sol. St. Tech. 2000. V. 43. N 1. P. 63--66
- Wang H., Fischman G.S. // J. Appl. Phys. 1994. N 3. P. 1557--1562
- Орлов А.М., Костишко Б.М., Скворцов А.А., Пирогов А.В. // Изв. РАН. Неорганические материалы. 1996. Т. 32. N 6. С. 277--280
- Орлов А.М., Скворцов А.А., Костишко Б.М. // Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования. 2000. N 4. С. 64--66
- Орлов А.М., Пирогов А.В., Емельянова Т.Г. // Изв. РАН. Неорганические материалы. 1993. Т. 29. N 11. С. 1559--1562
- Вилсон Д.Р. Структура жидких металлов и сплавов. М.: Металлургия, 1972. 246 с
- Справочник по электротехническим материалам / Под ред. Ю.В. Корецкого, В.В. Пасынкова, Б.М. Тареева. Л.: Энергоатомиздат, 1988. Т. 3. 728 с
- Охотин А.С., Пушкарский А.С., Горбачев В.В. Теплофизические свойства полупроводников. М.: Атомиздат, 1972. 187 с
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
© 2024 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук