Вышедшие номера
Деградационные процессы в системе алюминий--кремний при импульсных электрических воздействиях
Скворцов А.А.1, Орлов А.М.1, Саланов А.А.1
1Ульяновский государственный университет
Email: scvor@sv.uven.ru
Поступила в редакцию: 11 мая 2001 г.
Выставление онлайн: 19 сентября 2001 г.

Рассматриваются тепловые условия функционирования слоя металлизации, нанесенного на монокристаллическую подложку кремния, при пропускании через нее одиночных импульсов тока плотностью j=(1... 8)· 1010 A/m2 и длительностью tau=50... 800 mus. Установлены механизмы необратимой деградации пары алюминий-кремний при импульсном токовом воздействии, проявляемые в контактном плавлении анализируемой структуры и локальном оплавлении слоя металлизации. Предложены методы идентификации этих явлений и способы определения численных значений критических плотностей тока jk. Показано, что зависимость jk от длительности токового импульса подчиняется степенной зависимости jk~ 1/[4 ]tau. Обнаружена генерация линейных дефектов в области максимальных температурных градиентов тестовой структуры при прохождении одиночных токовых импульсов j<= 5· 1010 A/m2 и tau<= 200 mus.