Вышедшие номера
Исследование взаимодействия циркония и кислорода в кремнии
Пчелинцева Т.С.1,2, Прокофьева В.К.1,2, Светухин В.В.1,2, Амброзевич А.С.1,2, Рыгалин Б.Н.1,2, Лысенко Л.Н.1,2
1Ульяновский государственный университет
2Московский государственный университет электронной техники
Email: slava@sv.uven.ru
Поступила в редакцию: 31 мая 2001 г.
Выставление онлайн: 19 сентября 2001 г.

Методом исследования фотопроводимости определены энергетические уровни, создаваемые цирконием в кремнии (0.65, 0.52, 0.32 eV). Исследована растворимость кислорода в кремнии, легированном цирконием. Показано, что цирконий оказывает влияние на растворимость междоузельного кислорода.