Исследование взаимодействия циркония и кислорода в кремнии
Пчелинцева Т.С.1,2, Прокофьева В.К.1,2, Светухин В.В.1,2, Амброзевич А.С.1,2, Рыгалин Б.Н.1,2, Лысенко Л.Н.1,2
1Ульяновский государственный университет
2Московский государственный университет электронной техники
Email: slava@sv.uven.ru
Поступила в редакцию: 31 мая 2001 г.
Выставление онлайн: 19 сентября 2001 г.
Методом исследования фотопроводимости определены энергетические уровни, создаваемые цирконием в кремнии (0.65, 0.52, 0.32 eV). Исследована растворимость кислорода в кремнии, легированном цирконием. Показано, что цирконий оказывает влияние на растворимость междоузельного кислорода.
- Бабич В.М., Блецкан Н.И., Венгер Е.Ф. Кислород в монокристаллах кремния. Киев: Интерпресс ЛТД, 1997. 240 с
- Lemke H. // Phys. Stat. Sol. (a). 1990. V. 122. P. 617--621
- Соколов Е.Б., Прокофьева В.К., Белянина Е.В. // Изв. вузов. Цветная металлургия. 1996. N 6. С. 69--71
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
© 2024 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук