Образование возбужденных атомов хлора в поперечном объемном разряде низкого давления
Шуаибов А.К.1, Дащенко А.И.1, Шевера И.В.1
1Ужгородский национальный университет
Email: ishev@univ.uzhorod.ua
Поступила в редакцию: 11 декабря 2001 г.
Выставление онлайн: 19 марта 2002 г.
Представлены результаты исследования характеристик поперечного объемного разряда низкого давления в хлоре при P(Cl2)=0.1-1.5 kPa. Возбуждение хлора проводилось в объеме 18x 2.2x (0.5-1.0) cm при низком зарядном напряжении (Uch=< 10 kV) основной накопительной емкости генератора импульсного напряжения. Излучение плазмы анализировалось в спектральном диапазоне 500-900 nm. Получен однородный поперечный разряд короткой длительности (tau=< 100 ns), представляющий интерес для использования в ВУФ-УФ лампах и импульсном плазмохимическом реакторе сухого травления. В качестве диагностических спектральных линий для контроля за плотностью возбужденных атомарных радикалов хлора при использовании спектральной аппаратуры со средней разрешающей способностью могут использоваться линии Cl I с lambda=725; 754; 821 (2) nm.
- Василяк Л.М., Костенко С.В., Красночуб А.В., Кудрявцев Н.Н. и др. // ТВТ. 1995. Т. 33. N 6. С. 826--832
- Шуаибов А.К. // ЖТФ. 2000. Т. 70. В. 10. С. 117--119
- Королев Ю.Д., Месяц Г.А., Ярош А.М. // Химия высоких энергий. 1987. Т. 21. N 5. С. 464--468
- Орликовский А.А., Руденко К.В. // Микроэлектроника. 2001. Т. 30. N 2. С. 85--105
- Данилов Б.С., Киреев В.Ю. Применение низкотемпературной плазмы для травления и очистки материалов. М.: Энергоатомиздат, 1987
- Шуаибов А.К. // Квантовая электроника. 1999. Т. 26. N 2. С. 127--130
- Shuaibov O.K., Shimon L.L., Shevera I.V., Minja A.J. // Journal of Physical Studies. 1999. V. 3. N 2. P. 157--163
- Шуаибов А.К., Шимон Л.Л., Шевера И.В., Дащенко А.И. // Физика плазмы. 1999. Т. 25. N 7. С. 640--645
- Pears R.W.B., Gaydon A.G. // The Identification of Molecular Spectra. Chapman Hall LTD. London, 1963
- Suchard S.N., Melzer J.E. Spectroscopic Data. Homonuclear Diatomic Molecules. London, 1976. N 2
- Стриганов А.П., Одинцова Г.А. Таблицы спектральных линий атомов и ионов: Справочник. М., 1982
- Спичкин Г.Л. // ЖТФ. 1986. Т. 56. В. 10. С. 1923--1932
- Бычков Ю.И., Горчаков С.А., Ястремский А.Г. // Изв. высш. учеб. заведений. Физика. 1999. N 8. С. 43--49
- Апполонов В.В., Белевцев А.А., Казанцев С.Ю., Сайфулин А.В. и др. // Квантовая электроника. 2000. Т. 30. N 3. С. 207--228
- Горохов А.В., Максимов А.И., Сизов В.Д., Степанова Л.С. // ЖТФ. 1972. Т. 42. В. 10. С. 2176--2186
- Куприяновская А.П., Рыбкин В.В., Светцов В.И. // Изв. вузов. Химия и хим. технология. 1985. Т. 28. В. 3. С. 61--64
- Ефремов А.М., Куприяновская А.П., Светцов В.И. // ЖПС. 1993. Т. 59. N 3. С. 221--227
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
© 2024 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук