Вышедшие номера
Home » Письма в журнал технической физики » Год 2002, выпуск 10 » Статья стр. 30
<<<>>>
Влияние легирования подложки на параметры пористых слоев карбида кремния
Шуман В.Б.1, Ратников В.В.1, Савкина Н.С.1
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
Email: nata.sav@pop.ioffe.rssi.ru
Поступила в редакцию: 14 декабря 2001 г.
Выставление онлайн: 19 апреля 2002 г.
PDF версия
Для 6H-SiC n-типа проводимости, изготовленного методом Лели, изучено влияние степени легирования подложки в интервале 4· 1017/ 4.2· 1018 cm-3 на характеристики пористого слоя: диаметр пор, пористость, концентрацию пор. Установлено, что в сильно легированных подложках, по сравнению со слабо легированными, формируется пористый слой с порами меньшего диаметра и объема, но с большей (в несколько раз) концентрацией пор.
  1. Arita V., Sunohara Y. // Journ. El. Soc. 1977. V. 124 (2). P. 285--295
  2. Herino R., Bomchil C., Barla C. et al. // Journ. El. Soc. 1987. V. 134 (8). P. 1994--2000
  3. Shor J.S., Grimberg J., Weiss B. et al. // Appl. Phys. Lett. 1993. V. 62 (22). P. 2836--2838
  4. Савкина Н.С., Ратников В.В., Шуман В.Б. // ФТП. 2001. Т. 35 (2). С. 159--163
  5. Savkina N.S., Sorokin L.M., Hutchison J.L. et al. // Appl. Surf. Sci. 2002 (in press)
  6. Радованова Е.И. Автореф. канд. дис. ФТИ им. А.Ф. Иоффе АН СССР. Л., 1973
  7. Bellet D., Dolino G., Lideon M. et al. // J. Appl. Phys. 1992. V. 71 (1). P. 145--149

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.

Учредители

Издатель

© 2024 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук
Powered by webapplicationthemes.com - High quality HTML Theme