Исследование кинетики преципитации кислорода в кремнии, легированном цирконием
Светухин В.В.1,2, Гришин А.Г.1,2, Ильина Т.С.1,2, Прокофьева В.К.1,2, Рыгалин Б.Н.1,2
1Ульяновский государственный университет
2Московский институт электронной техники (Технический университет)
Email: slava@sv.uven.ru
Поступила в редакцию: 11 июня 2002 г.
Выставление онлайн: 20 октября 2002 г.
Исследуется кинетика преципитации кислорода при 900 и 1050oC в образцах кремния, выращенных по методу Чохральского с различным содержанием циркония. Показано, что цирконий не участвует в процессе образования центров зарождения кислородных преципитатов, но уменьшает концентрацию междоузельного кислорода при выращивании кристалла.
- Рыгалин Б.Н., Соколов Е.Б., Прокофьева В.К. // Изв. вузов. Электронная техника. 2000. N 4,5. С. 71--73
- Пчелинцева Т.С., Прокофьева В.К., Светухин В.В. и др. // Письма в ЖТФ. 2001. Т. 27. В. 20. С. 20--24
- Булярский С.В., Светухин В.В., Приходько О.В. // ФТП. 1999. Т. 33. N 11. С. 1280--1286
- Ham F.S. // Phys. Chem. Solids. 1958. V. 6. P. 335--350
- Borghesi A., Pivac B., Sassella A. et al. // J. Appl. Phys. 1995. V. 77. P. 4196--4310
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
© 2024 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук