Представлены результаты исследования структуры, электрических и оптических свойств прозрачных проводящих пленок на основе ZnO, легированного галлием, полученных методом магнетронного распыления композитной мишени ZnO : Ga-C. Взаимодействия ZnO с C в тонком поверхностном слое мишени, инициированное ионной бомбардировкой, приводит к увеличению содержания избыточного цинка в составе потока реагентов. Формирование прозрачных проводящих тонких пленок ZnO : Ga при температурах подложки более 100^oC в условиях наличия избыточного цинка у поверхности роста имеет результатом улучшение структуры и увеличение проводимости пленок без снижения оптического пропускания в видимом диапазоне.

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.