Фазовые превращения в системах металлизации при нестационарном тепловом воздействии
Скворцов А.А.1, Каленков С.Г.1, Корячко М.В.1
1Московский государственный машиностроительный университет (МАМИ)
Email: SkvortsovAA2009@yandex.ru
Поступила в редакцию: 13 марта 2014 г.
Выставление онлайн: 20 августа 2014 г.
Рассмотрены фазовые переходы первого рода в алюминиевой металлизации при прохождении через нее одиночных прямоугольных импульсов тока амплитудой до 8· 1010 A/m2 и длительностью 100-1000 mus. Экспериментально изучены процессы формирования локальных оплавленных зон, а также их последующая миграция в процессе прохождения тока. Выявлены основные механизмы перемещения межфазной границы (за счет тепловыделения на границе раздела твердой и жидкой фаз) в условиях нестационарного нагрева металлической пленки. Экспериментально определены скорости распространения жидкой фазы вдоль дорожки металлизации (~ 25 m/s), а также предложена методика, позволяющая рассчитывать длину оплавленной зоны после прохождения импульса.
- Soestbergen van M., Mavinkurve A., Rongen R.T.H., Jansen K.M.B., Ernst L.J., Zhang G.Q. // Electrochimica Acta. 2010. V. 55. P. 5459--5469
- Hu C.-K., Ohm J., Gignac L. M., Breslin C.M., Mittal S. // J. Appl. Phys. 2012. V. 111. P. 093 722
- Nguyen T.A., Joubert P.-Y., Lefebvre S., Chaplier G., Rousseau L. // Microelectronics Reliability. 2001. V. 51. P. 1127--1135
- Zhenqiang Ma, Gary S. Was // J. Mater. Res. 1999. V. 14. N 10. P. 4051--4061
- Zhang J.H., Chan Y.C., Alam M.O., Fu S. // Microelectronics Reliability. 2003. V. 43. P. 1303--1310
- Полищук А.А. // Современная электроника. 2006. N 4. С. 20--24
- Герасимчук О.А., Епифанцев К.А., Павлова Т.В., Скоробогатов П.К. // Микроэлектроника. 2011. Т. 40. N 3. С. 230--240
- Скворцов А.А., Рыбин В.В., Зуев С.М. // Письма в ЖТФ. 2010. Т. 36. N 6. С. 73--79
- Скворцов А.А., Орлов А.М., Мурадов В.Е. // Письма в ЖТФ. 2009. Т. 35. В. 13. С. 41--48
- Белащенко Д.К., Орлов А.М., Орлова С.П. // Теплофизика высоких температур. 1976. Т. 14. N 3. С. 580--585
- Физические величины: Справочник / Под. ред. И.С Григорьева, Е.З. Мейлихова. М.: Энергоатомиздат, 1991. 1232 с
- Карслоу Г., Егер Д. Теплопроводность твердых тел. М.: Наука, 1964. 489 c
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
© 2025 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук