Электрическая активность специальных границ в мультикремнии, выращенном из металлургического рафинированного кремния
Пещерова С.М.1, Непомнящих А.И.1, Павлова Л.А.1
1Институт геохимии им. А.П. Виноградова Сибирского отделения Российской академии наук, Иркутск, Россия
Email: spescherova@mail.ru
Поступила в редакцию: 15 июля 2014 г.
Выставление онлайн: 20 октября 2014 г.
Исследованы свойства специальных границ зерен в мультикремнии, выращенном из металлургического рафинированного кремния методом Бриджмена- Стокбаргера. Электрическую активность границ зерен исследовали методом наведенного тока (EBIC). Структурные особенности мультикремния определяли методами сканирующей электронной микроскопии (SEM, EPMA) и атомно-силовой микроскопии (AFM).
- Пещерова С.М., Непомнящих А.И., Бычинский В.А., Павлова Л.А., Сокольникова Ю.В. // Материаловедение. 2013. N 6. С. 52-56
- Nepomnyashchikh A.I., Presnyakov R.V., Eliseev I.A., Sokol'nikova Yu.V. // Technical Physics Letters. 2011. V. 37. N 15. P. 103-110
- Пещерова С.М., Павлова Л.А., Непомнящих А.И., Елисеев И.А., Сокольникова Ю.В. // Известия высших учебных заведений. Материалы электронной техники. 2012. N 4 (60). С. 12-17
- Chen J., Sekiguchi T., Xie R., Ahmet P., Chicyo T., Yang D., Ito S., Yin F. // Scripta Materialia. 2005. V. 52. P. 1211-1215
- Bailey J., Mc Hugo S.A., Hieslmair H., Weber E.R. // J. Electron. Mat. 1996. V. 25. P. 1417
- Mc Hugo S.A., Bailey J., Hieslmair H., Weber E.R. // J. Electron. Mat. 1994. V. 25. P. 1417
- Mc Hugo S.A., Hieslmair H., Weber E.R. // Appl. Phys. A. 1997. V. 64. P. 127
- Weber E.R. // Appl. Phys. A. 1983. V. 30. P. 1
- Davis J.R., Rohatgi A., Hopkins R.H., Blais P.D., Rai-Choudhury P., Mc Cormic J.R., Mollenkopf H.C. // IEEE Trans. Electron. Dev. 1980. ED-27. P. 677
- Hopkins R.H., Rohatgi A. // J. Cryst. Growth. 1985. V. 75. P. 67
- Mc Hugo S.A. // Appl. Phys. Lett. 1997. V. 71. P. 1984
- Voight A., Hassler C., Karg D., Strunk H.P., Pensl G., Schulz M. // Solid State Phenom. 1996. V. 51-52. P. 497
- Пещерова С.М., Непомнящих А.И., Павлова Л.А., Елисеев И.А., Пресняков Р.В. // Физика и техника полупроводников. 2014. T. 48. N 4. С. 492-497
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.