Вышедшие номера
Home » Письма в журнал технической физики » Год 2015, выпуск 4 » Статья стр. 24
<<<>>>
Электрическая пассивация поверхности кремния полиэлектролитным покрытием
Стецюра С.В.1, Козловский А.В.1, Маляр И.В.1
1Саратовский национальный исследовательский государственный университет им. Н.Г. Чернышевского, Саратов, Россия
Email: stetsyurasv@mail.ru
Поступила в редакцию: 4 августа 2014 г.
Выставление онлайн: 20 января 2015 г.
PDF версия
Исследовано влияние монослоя катионного полиэлектролита на электрофизические параметры монокристаллического кремния с дырочным типом проводимости и разным уровнем легирования. Показано, что для p-Si метод фотостимулированной адсорбции полиэлектролита позволяет дополнительно уменьшить эффективную плотность поверхностных электронных состояний на порядок по сравнению с пассивацией в результате адсорбции полиэлектролита в темноте, при этом максимальные изменения наблюдаются для характеристических времен "быстрых" состояний в p-Si с более высоким уровнем легирования.
  1. Дорофеев С.Г., Кононов Н.Н., Звероловлев В.М. и др. // ФТП. 2014. Т. 48(3). С. 375--383
  2. Poghossian A., Schcning M.J. // Electroanalysis. 2014. V. 26. Р. 1--17
  3. Антонова И.В., Соотс Р.А., Селезнев В.Л., Принц В.Я. // ФТП. 2007. Т. 41(8). С. 1010--1016
  4. Zavadil K.R., Ashby C.I.H., Howard A.J., Hammons B.E. // J. Vac. Sci. Technol. A. 1994. V. 12. P. 1045
  5. Маляр И.В., Santer S., Стецюра С.В. // Письма в ЖТФ. 2013. Т. 39(14). С. 69--76
  6. Malyar I.V., Gorin D.A., Santer S., Stetsyura S.V. // Langmuir. 2013. V. 29(52). Р. 16 058--16 065
  7. Malyar I.V., Gorin D.A., Stetsyura S.V., Santer S. // J. Electronic Materials. 2012. V. 41(12). P. 3427--3435
  8. Пека Г.П. Физические явления на поверхности полупроводников. Киев: Вища школа, 1984. 214 с
  9. Королевич Л.Н., Борисов А.В., Прокопенко А.С., Миняйло А.Н. // Электроника и связь. 2008. N 42. С. 35--37
  10. Sze S. Physics of semiconductor devices. N. Y.: Willey-Interscience, 1981. 456 p
  11. Александров О.В., Дусь А.И. // ФТП. 2011. Т. 45(4). С. 474--480

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.

Учредители

Издатель

© 2024 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук
Powered by webapplicationthemes.com - High quality HTML Theme