Рост с высокими скоростями пленок InN на подложках фианита и сапфира методом металлоорганической газофазной эпитаксии с плазменной активацией азота
Бузынин Ю.Н., Водопьянов А.В., Голубев С.В., Дроздов М.Н., Дроздов Ю.Н., Лукьянов А.Ю., Мансфельд Д.А., Хрыкин О.И., Шашкин В.И., Юнин П.А.
Поступила в редакцию: 26 сентября 2014 г.
Выставление онлайн: 17 февраля 2015 г.
Методом металлоорганической газофазной эпитаксии с активацией азота в плазме, поддерживаемой излучением гиротрона, получены монокристаллические пленки InN гексагональной модификации на подложках сапфира, фианита и темплейтах GaN/Al2O3 (0001). Достигнута рекордная скорость роста пленок 10 mum · h-1. Показано, что применение подложек фианита по сравнению с подложками сапфира и темплейтами позволяет существенно улучшить структурное совершенство и фотолюминесцентные свойства пленок InN. Нелегированные пленки InN обладают n-типом проводимости с концентрацией электронов n=(8.0· 1019-4.9· 1020) cm-3 при значениях их подвижности до 180 cm2/(V· s).
- Davydov V.Yu., Klochikhin A.A. et al. // Phys. Stat. Solidi. B. 2002. V. 229. P. R1
- Wu J., Walukiewicz W., Yu K.M. et al. // Appl. Phys. Lett. 2002. V. 80. P. 3967
- Junqiao Wu. // J. Appl. Phys. 2009. V. 106. P. 011 101
- Baghani E., O'Leary S.K. et al. // Appl. Phys. Lett. 2011. V. 99. P. 262 106
- Miller N., Haller E.E. et al. // Phys. Rev. B. 2011. V. 84. P. 075 315
- Александров В.И., Осико В.В., Прохоров А.М., Татаринцев В.М. // Вестник АН СССР. 1973. N 12. С. 29--39
- Anderson P.A., Kendrick C.E., Kinsey R.J., Asadov A., Gao W., Reeves R.J., Durbin S.M. // Phys. Stat. Sol. (c). 2005. V. 2. N 7. P. 2320--2323
- Briot O., Ruffenach S., Moret M., Gil B., Giesen Ch., Heuken M., Rushworth S., Leese T., Succi M. // J. Crystal Growth. 2009. V. 311. P. 2761--2766
- Бузынин Ю.Н., Викторов М.Е., Водопьянов А.В., Голубев С.В., Дроздов М.Н., Дроздов Ю.Н., Лукьянов А.Ю., Мансфельд Д.А., Скороходов Е.В., Хрыкин О.И., Шашкин В.И. // Письма в ЖТФ. 2012. Т. 38. В. 24. С. 86--94
- Alexander Vodopyanov, Dmitry Mansfeld, Yurii Buzynin, Mikhail Drozdov, Yurii Drozdov, Oleg Khrykin, Andrei Lukyanov, Mikhail Viktorov, Sergey Golubev, Vladimir Shashkin // Japanese J. Appl. Phys. 2013. V. 52. P. 08JD07
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
© 2025 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук
