Эффект дальнодействия в 6H-SiC при облучении ионами Хе
Калинина Е.В., Чучвага Н.А., Богданова Е.В., Скуратов В.А.
Поступила в редакцию: 9 декабря 2014 г.
Выставление онлайн: 19 апреля 2015 г.
Впервые представлены результаты исследования электрическими методиками "эффекта дальнодействия" в кристаллах 6H-SiC при облучении тяжелыми ионами Xe с энергией 167 МeV флюенсами 4· 109-7· 1011 cm-2. Исследовались структуры с барьерами Шоттки, сформированными на C-грани кристаллов. Облучение структур проводилось в одинаковых режимах со стороны барьеров и со стороны базы (грань Si). Впервые для SiC электрическими методиками был выявлен эффект глубокого проникновения радиационных дефектов на глубину, превышающую в несколько десятков раз пробег ионов Xe. Было выявлено, что в начале пробега ионов Xe образуются радиационные дефекты акцепторного типа, однако в конце пробега ионов Xe образуются радиационные дефекты донорного типа.
- Cleland J.W., Crawford J.H., Lark-Horovitz K., Pigg J.C., Young F.W. // Phys. Rev. 1951. V. 83. P. 312
- Зорин Е.И., Тетельбаум Д.Е., Попов Ю.С., Границына З.К. // ФТТ. 1964. Т. 6. С. 2018
- Смирнов Л.С. Вопросы радиационной технологии полупроводников. Новосибирск: Наука, 1980. 292 с
- Вавилов В.С., Горин Б.М., Динилин Н.С., Кив А.Е., Нуров Ю.Л., Шаховцов В.И. Радиационные методы в твердотельной электронике. М.: Наука, 1990. 184 c
- Васильева И.В., Ефремов Г.А., Козловский В.В., Ломасов В.Н., Иванов В.С. Радиационные процессы в технологии материалов и изделий электронной техники. М.: Энергоатомиздат, 1997. 84 с
- Морозов Н.И., Тетельбаум Д.И. // ФТП. 1983. Т. 17. С. 838
- Павлов П.В., Семин Ю.А., Скупов В.Д. // ФТП. 1986. Т. 20. С. 503
- Перевощиков В.А., Скупов В.Д. Геттерирование примесей и дефектов в полупроводниках. Н. Новгород, Нижегородский университет, 2002. Ч. 1. Гл. 3. C. 158--162
- Калинина Е.В., Скуратов В.А., Ситникова А.А., Колесникова Е.И., Трегубова А.С., Щеглов М.П. // ФТП. 2007. Т. 41. С. 392
- Калинина Е.В., Чучвага Н.А., Богданова Е.В., Стрельчук А.М., Шустов Д.Б., Заморянская М.В., Скуратов В.А. // ФТП. 2014. Т. 48. С. 167
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
© 2025 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук