Письма в журнал технической физики
Авторам
Вышедшие номера
- 2024
- 2023
- 2022
- 2021
- 2020
- 2019
- 2018
- 2017
- 2016
- 2015
- 2014
- 2013
- 2012
- 2011
- 2010
- 2009
- 2008
- 2007
- 2006
- 2005
- 2004
- 2003
- 2002
- 2001
- 2000
- 1999
- 1998
- 1997
- 1996
- 1995
- 1994
- 1993
- 1992
- 1991
- 1990
- 1989
- 1988
Исследование свойств контактных покрытий на основе наноразмерных пленок рутения для МЭМС-коммутаторов
1Рязанский государственный радиотехнический университет, Рязань, Россия 
Email: dmitriy_suvorov@mail.ru
Поступила в редакцию: 30 декабря 2015 г.
Выставление онлайн: 19 июня 2015 г.
Приведены результаты исследования коммутационных свойств контактных покрытий на основе наноразмерных пленок рутения, полученных методом электрохимического осаждения. Установлены закономерности изменения контактного сопротивления в зависимости от числа циклов коммутации при различных толщинах и шероховатости покрытия. По результатам эксперимента были установлены оптимальные параметры контактного покрытия, необходимые для обеспечения минимальной величины контактного сопротивления МЭМС-коммутатора (микроэлектромеханического коммутатора) в установившемся режиме.
- Vincent M., Chiesi L., Fourrier J.C., Garnier A., Grappe B., Lapiere C., Coutier C., Samperio A., Paineau S. // 54th IEEE Holm Conference. Orlando, October 27--29, 2008. P. 145--150
- Coutier C., Chiesi L., Garnier A., Fourrier J.C., Lapi\`ere C., Trouillon M., Grappe B., Vincent M., Samperio A., Borel S., Dieppedale C., Lorent E., Sibuet H. // Proc. 15th International Conference Transducers. 2009. Denver, June 21--25, 2009. P. 861--864
- Карабанов С.М., Карабанов А.С., Суворов Д.В., Сажин Б.Н., Крутилин А.А., Граппе Б., Кутьер К., Сибьют Г. // Электронная промышленность. 2009. N 4. С. 51--58
- Arushanov K.A., Drozdov M.N., Karabanov S.M., Zeltser I.A., Tolstogouzov A. // Appl. Surf. Sci. 2012. V. 265. 15 January 2013. P. 642--647
- Карабанов С.М., Локштанова О.Г. Электролитические покрытия магнитоуправляемых герметизированных контактов (герконов). Рязань, 2011. 245 с
- Гололобов Г.П. Исследование структуры покрытия и морфологии контактирующей поверхности магнитоуправляемых контактов методом атомно-силовой микроскопии: Дис. канд. техн. наук. Рязань, 2006. 149 с
- Карабанов С.М., Локштанова О.Г. // Журнал прикладной химии. 2008. Т. 81. В. 6. С. 961--964
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
