Анализ электрических и оптических свойств наноразмерных пленок легированных оксидов цинка и индия, сформированных методом ВЧ-магнетронного распыления при комнатной температуре
Соснин Д.В., Кудряшов Д.А., Гудовских С.А., Зеленцов К.С.
Выставление онлайн: 20 июля 2015 г.
Проведено сравнение оптических и электрических свойств наноразмерных пленок оксида индия, легированного оловом, и оксида цинка, легированного алюминием, сформированных на кремниевой и стеклянной подложках методом ВЧ-магнетронного распыления в условиях пониженной мощности и при комнатной температуре. Представлены зависимости удельного сопротивления и коэффициента пропускания оксидов от мощности ВЧ-излучения магнетрона. График зависимости удельного сопротивления пленок обоих оксидов от мощности распыления имеет нелинейный вид с минимумом в области 50 W, для оксида цинка, легированного алюминием, данный минимум обнаружен впервые. Минимальные значения удельного сопротивления для оксида цинка, легированного алюминием, составляют 2.9· 10-3Omega· cm, для оксида индия, легированного оловом, - 5.4· 10-4Omega· cm. Оба оксида характеризуются высокими значениями коэффициента пропускания, близкими к 90% в диапазоне длин волн 500-1000 nm.
- Khan F., Baek S.H., Singh S.N., Singh P.K., Kim J.H. // Solar Energy. 2013. V. 97. P. 474--483
- Tseng C.Y., Lee С.Т. // Solar Energy. 2013. V. 89. P. 17--22
- Tuna O., Selamet Y., Aygun G., Ozyuzer L. // J. Phys. D: Appl. Phys. 2010. V. 43. P. 055 402
- Chang J.F., Wang H.L., Hon M.H. // J. Crystal Growth. 2000. V. 211. P. 93--97
- Gang E., Zhuang D.M., Zhang G., Ming Z., Yang M.F., Liu J.J. // Microelectron. J. 2004. V. 35. P. 383--387
- Kudryashov D., Gudovskikh A., Zelentsov K. // J. Phys.: Conf. Ser. 2013. V. 461. P. 012 021
- Kim D.K., Kim H.B. // J. Alloys and Compounds. 2011. V. 509 P. 421--425
- Wang Z.A., Chu J.B., Zhu H.B., Sun Z., Chen Y.W., Huang S.M. // Solid-State Electronics. 2009. V. 53. P. 1149--1153
- Kim H., Gilmore C.M. // J. Appl. Phys. 1999. V. 86. P. 6451
- Гарифулина М.Р., Власов А.И., Макарчук В.В., Адамовик Н. // Инженерный вестник. 2012. N 8. Эл. N 77-48211/479044
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
© 2024 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук