Письма в журнал технической физики
Авторам
Вышедшие номера
- 2025
- 2024
- 2023
- 2022
- 2021
- 2020
- 2019
- 2018
- 2017
- 2016
- 2015
- 2014
- 2013
- 2012
- 2011
- 2010
- 2009
- 2008
- 2007
- 2006
- 2005
- 2004
- 2003
- 2002
- 2001
- 2000
- 1999
- 1998
- 1997
- 1996
- 1995
- 1994
- 1993
- 1992
- 1991
- 1990
- 1989
- 1988
Синтез тонких пленок a-SiOx:H методом газоструйного химического осаждения с активацией электронно-пучковой плазмой
Баранов Е.А.1, Замчий А.О.1,2, Хмель С.Я.1
1Институт теплофизики им. С.С. Кутателадзе СО РАН, Новосибирск, Россия 
2Новосибирский государственный университет, Новосибирск, Россия
2Новосибирский государственный университет, Новосибирск, Россия
Email: itpbaranov@gmail.com
Поступила в редакцию: 21 мая 2015 г.
Выставление онлайн: 19 сентября 2015 г.
Впервые синтезированы тонкие пленки a-SiOx:H методом газоструйного химического осаждения с активацией электронно-пучковой плазмой. Скорость роста уменьшалась с 2 до 1.15 nm/s при увеличении температуры подложки от комнатной до 415oC, при этом концентрация водорода уменьшилась с 12.5 до 4.2%, а концентрация кислорода увеличилась с 14.5 до 20.8%. Уменьшение концентрации водорода связано с увеличением эффузии и температурной десорбции. Спектры комбинационного рассеяния света полученных пленок показали типичную аморфную структуру для связей Si-Si.
- Seif J., Descoeudres A., Filipic M., Smole F., Topic M., Holman Z., Wolf S., Ballif C. // J. Appl. Phys. 2014. V. 115. P. 024502-1--024502-8
- Fang J., Chen Z., Hou G., Wang F., Chen X., Wei C., Wang G., Sun J., Zhang D., Zhao Y., Zhang X. // Sol. Energy Mater. Sol. Cells. 2015. V. 136. P. 172--176
- Wang S., Smirnov V., Chen T., Hollander B., Zhang X., Xiong S., Zhao Y., Finger F. // Jpn. J. Appl. Phys. 2015. V. 54. P 011401--1011401-6
- Kang D.-W., Sichanugrist P., Konagai M. // Appl. Phys. Express. 2014. V. 5. P. 082302-1--082302-4
- Sritharathikhun J., Inthisang S., Krajangsang T., Limmanee A., Sriprapha K. // Thin Solid Films. 2013. V. 546. P. 383--386
- Matsumoto Y., Godavarthi S., Ortega M., Sanchez V., Velumani S., Mallick P. // Thin Solid Films. 2011. V. 519. P. 4498--4501
- Lopez J.A., Lopez J.C., Valerdi D.E., Salgado G.G., Diaz-Becerril T., Pedraza A.P., Gracia F.J. // Nanoscale Res. Lett. 2012. V. 7. P. 604
- Sharafutdinov R.G., Khmel S.Ya., Shchukin V.G., Ponomarev M.V., Baranov E.A., Volkov A.V., Semenova O.I., Fedina L.I., Dobrovolsky P.P., Kolesov B.A. // Sol. Energy Mater. \& Sol. Cells. 2005. V. 89. P. 99--111
- Baranov E., Khmel S., Zamchiy A., Cheskovskaya I., Sharafutdinov M. // Can. J. Phys. 2014. V. 92. P. 723--727
- Baranov E., Zamchiy A., Khmel S. // Techn. Phys. Lett. 2013. V. 39. P. 88--94
- Zamchiy A., Baranov E., Khmel S. // Phys. Status Solidi C. 2014. V. 11. P. 1397--1400
- Baranov E., Khmel S., Zamchiy A. // IEEE Transactions on Plasma Science. 2014. V. 42. P. 2794--2795
- Brodsky M.H., Cardona M., Cuomo J.J. // Phys. Rev. B. 1977. V. 16. P. 3556--3571
- Langford A.A., Fleet M.L., Nelson B.P., Lanford W.A., Maley N. // Phys. Rev. B. 1992. V. 45. P. 13367--13377
- Zacharias M., Driisedau T., Panckow A., Freistedt H., Gark B. // J. Non-Cryst. Solids. 1994. V. 169. P. 29--36
- He L., Inokuma T., Kurata Y., Hasegawa S. // J. Non-Cryst. Solids. 1955. V. 185. P. 249--261
- Das D., Barua A. // Solar Energy Materials and Solar Cells. 2000. V. 60. P. 167--179.
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
