Вышедшие номера
Термическая литография тонких пленок диоксида ванадия
Андреев В.Н.1, Климов В.А.1, Компан М.Е.1
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
Email: v.klimov@mail.ioffe.ru
Поступила в редакцию: 11 августа 2015 г.
Выставление онлайн: 20 декабря 2015 г.

Предложена методика, позволяющая создавать в тонких пленках диоксида ванадия упорядоченные группы микрообластей с резко различающимися оптическими и электрическими свойствами. Методика основана на отжиге тонких пленок в вакууме, приводящем к выходу кислорода из диоксида ванадия с образованием в нем кислородных вакансий.