Вышедшие номера
Home » Письма в журнал технической физики » Год 2016, выпуск 3 » Статья стр. 61
<<<>>>
Структура и диэлектрические свойства тонких пленок цирконата-титаната бария, полученных ВЧ магнетронным распылением
Тумаркин А.В.1, Разумов С.В.1, Гагарин А.Г.1, Алтынников А.Г.1, Стожаров В.М.2, Каптелов Е.Ю.3, Сенкевич С.В.3, Пронин И.П.3
1Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет "ЛЭТИ" им. В.И. Ульянова (Ленина), Санкт-Петербург, Россия
2Российский государственный педагогический университет им. А.И. Герцена, Санкт-Петербург, Россия
3Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
Email: Petrovich@mail.ioffe.ru
Поступила в редакцию: 1 сентября 2015 г.
Выставление онлайн: 20 января 2016 г.
PDF версия
Субмикронные тонкие слои BaZrxTi1-xO3 in situ выращены методом ВЧ магнетронного распыления керамической мишени (x=0.50) на подложке Pt/r-срез лейкосапфира Al2O3. Показано, что состав сегнетоэлектрического слоя не соответствует составу распыляемой мишени и сдвигается в сторону цирконата бария. Обсуждаются причины подобного поведения. Полученные образцы характеризуются высокими пробивными напряжениями (1 MV/cm и выше). Исследованы структурные и высокочастотные диэлектрические свойства, выявлена высокая управляемость емкости тонких слоев.
  1. Kell R.C., Hellicar N.J. // Acta Acustica united with Acustica. 1956. V. 6. N 2. P. 235--245
  2. Hennings S.D., Schell A., Simon G. // J. Amer. Ceram. Soc. 1982. V. 65. P. 539--544
  3. Tagantsev A.K., Sherman V.O., Astafiev K.F., Venkatech J., Setter N. // J. Electroceram. 2003. V. 11. P. 5--66
  4. Pronin I.P., Rotenberg B.A., Sotnikov A.V., Tarakanov E.A. // Ferroelectrics. 1999. V. 224. P. 219--226
  5. Ротенберг Б.А. Керамические конденсаторные диэлектрики / РФФИ. Санкт-Петербург, 2000. 246 с
  6. Dixit A., Majumder S.B., Dobal P.S., Katyar R.S., Bhalla A.S. // Thin Solid Films. 2004. V. 447--448. P. 284--288
  7. Wang D.Y., Yun P., Wang Y., Chan H.L.W., Choy C.L. // Thin Solid Films. 2009. V. 517. P. 2092--2098
  8. Lee S.-J., Kwak M.-H., Moon S.E., Ryu H.-C., Kim Y.-T., Kang K.-Y. // Integr. Ferroelectr. 2005. V. 77. P. 93--99
  9. Maiti T., Guo R., Bhalla A.S. // Appl. Phys. Lett. 2006. V. 89. P. 122 909
  10. Hoffmann S., Waser R.M. // Integr. Ferroelectr. 1997. V. 17. P. 141--152
  11. Reymond V., Payan S., Michau D., Manaud J.-P., Maglione M. // Thin Solid Films. 2004. V. 467. Р. 54--58
  12. Козырев А.Б., Гайдуков М.М., Гагарин А.Г., Алтынников А.Г., Разумов С.В., Тумаркин А.В. // Письма в ЖТФ. 2009. Т. 35. В. 13. С. 1--7
  13. Вольпяс В.А., Козырев А.Б. // ЖЭТФ. 2011. Т. 140. В. 1(7). С. 196--204

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.

Учредители

Издатель

© 2024 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук
Powered by webapplicationthemes.com - High quality HTML Theme