Кристаллизация пленок аморфного гидрогенизированного кремния (a-Si : H) при облучении фемтосекундными лазерными импульсами
Белик В.П.1, Васютинский О.С.1, Кукин А.В.1, Петров М.А.1,2, Попов Р.С.1,2, Теруков Е.И.1,3
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
2Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого, Санкт-Петербург, Россия
3ООО "НТЦ тонкопленочных технологий в энергетике при ФТИ им. А.Ф. Иоффе", Санкт-Петербург
Email: v.belik@mail.ioffe.ru
Поступила в редакцию: 23 марта 2016 г.
Выставление онлайн: 20 июля 2016 г.
Исследована кристаллизация тонких пленок аморфного гидрогенизированного кремния под действием импульсов фемтосекундного лазера. Обнаружено, что наблюдаемый эффект кристаллизации носит ярко выраженный пороговый характер и зависит от длины волны лазерного излучения. Показано, что наилучшие результаты кристаллизации достигаются при использовании длин волн лазерного излучения в диапазоне 740-760 nm.
- Navak B.K., Gupta M.C. // Appl. Phys. A. 2007. V. 89. P. 663--666
- Емельянов А.В., Казанский А.Г., Кашкаров П.К., Коньков О.И., Теруков Е.И., Форш П.А., Хенкин М.В., Кукин А.В., Beresna M., Kazansky P. // ФТП. 2012. Т. 46. В. 6. С. 769--773
- Hong L., Wang X.C., Zheng H.Y. et al. // J. Phys. D.: Appl. Phys. 2013. V. 46. P. 195 109 (6 p)
- Калитеевский Н.И. Волновая оптика. М.: Наука, 1971. 376 с
- Зайдель А.Н. Погрешности измерений физических величин. Л.: Наука, 1985. 112 с
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.