Вышедшие номера
Квантовая эффективность 4H-SiC-детекторов в диапазоне 114-400 nm
Калинина Е.В.1, Виолина Г.Н.2, Белик В.П.1, Николаев А.В.1, Забродский В.В.1
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
2Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет
Email: evk@mail.ioffe.ru
Поступила в редакцию: 7 июня 2016 г.
Выставление онлайн: 19 сентября 2016 г.

Исследованы электрические и спектрометрические характеристики детекторов на основе 4H-SiC с Cr-барьерами Шоттки в спектральных диапазонах 114-175 и 210-400 nm. Показано, что качество коммерчески доступных слоев 4H-SiC позволяет создавать детекторы ультрафиолетового излучения с внешним квантовым выходом больше 20% в исследованных диапазонах.