Вышедшие номера
Home » Письма в журнал технической физики » Год 2017, выпуск 1 » Статья стр. 80
<<<>>>
Влияние добавления диборана на свойства плазмохимически осаждаемых углеродных пленок
DOI: 10.21883/PJTF.2017.01.44093.16031
Шубина Е.Н.1, Карасёв П.А.1, Титов А.И.1, Подсвиров О.А.1, Виноградов А.Я.2, Карасёв Н.Н.3, Поздняков А.В.1
1Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого, Санкт-Петербург, Россия
2Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
3Университет ИТМО, Санкт-Петербург, Россия
Email: katerinashubina@gmail.com
Поступила в редакцию: 20 октября 2015 г.
Выставление онлайн: 20 декабря 2016 г.
PDF версия
Представлены результаты исследований оптических, электрических, механических свойств алмазоподобных углеродных пленок, полученных методом плазмохимического газофазного осаждения из смеси диборана и метана в различных пропорциях. При достижении пороговой концентрации (~ 12%) диборана в рабочей смеси, в структуре пленок начинают формироваться включения новой фазы. Это приводит к нелинейной зависимости внутренних напряжений и поверхностного сопротивления получаемых покрытий от состава смеси с минимальными значениями при концентрации диборана ~ 12%.
  1. Robertson J. // Mater. Sci. Eng. R. 2002. V. 37. P. 129
  2. Erdemir A., Donnet C. (Eds.) Tribology of Diamond-Like Carbon Films. Springer Science --- Business Media. LLC, 2008
  3. Casiraghi C., Robertson J., Ferrari A.C. // Mater. Today 2007. V. 10 (1-2). P. 44
  4. Ismail R.A., Mousa A.M., Hassan M.A. et al. // Opt. Quant. Electron. 2016. V. 48. P. 16
  5. Sikora A., Berkesse A., Bourgeois O. et al. // Appl. Phys. A. 2009. V. 94. P. 105
  6. Zeng A., Neto V.F., Gracio J.J. et al. // Diam. Rel. Mat. 2014. V. 43. P. 12
  7. Kavana L., Zivcovaa Z.V., Petrak V. et al. // Electroch. Acta. 2015. V. 179. P. 626
  8. Basman N., Aslan N., Uzun O. et al. // Microelectr. Eng. 2015. V. 140. P. 18
  9. Hauert R., Thorwarth K., Thorwarth G. // Surf. Coat. Technol. 2013. V. 233. P. 119
  10. Veerasamy V.S., Amaratunga G.A.J., Davis A.A. et al. // J. Phys.: Condens. Matter. 1993. V. 5. P. 169
  11. Goss J.P., Eyre R.J., Briddon P.R. // Physics and Applications of CVD Diamond. Koizumi S., Nebel C., Nesladek M., Eds. Weinheim, German: John Wiley \& Sons, 2008. P. 199
  12. Подсвиров О.А., Карасев П.А., Виноградов А.Я. и др. // Поверхность. 2010. N 3. С. 81
  13. Karaseov P.A., Podsvirov O.A., Karabeshkin K.V. et al. // Nucl. Instr. Meth. Phys. Res. B. 2010. V. 268. P. 3107
  14. Stoney G.G. // Proc. Roy. Soc. A. 1909. V. 82. P. 172
  15. Boyd I.W. // Appl. Phys. Lett. 1987. V. 51. P. 418
  16. Shirai K., Emura S., Gonda S. et al. // J. Appl. Phys. 1995. V. 78. P. 3392
  17. Blum N.A., Feldman C., Satkiewicz F.G. // Phys. Stat. Sol. (a). 1997. V. 41. P. 481
  18. Stein H., Aselage T., Emin D. // Proc. 10th Int. Symp. on Boron, Borides and Related Compounds. Ed. by H. Werheit. 1987. P. 322
  19. Lin Shu-Han, Feldman B.J. // Solid State Commun. 1998. V. 107. N 5. P. 239
  20. Stein H., Aselage T., Emin D. // Proc. 10th Int. Conf. on Boron, Borides and Related Compounds. AIP Conf. Proc. New York, 1991. V. 231. P. 322
  21. Kuhlmann U., Werheit H., Schwetz K.A. // J. Alloys Compd. 1992. V. 189. P. 249
  22. Annen A., Sab M., Beckmann R. et al. // Thin Solid Films. 1998. V. 312. P. 147
  23. Ferrari A.C., Robertson J. // Phys Rev. B. 2000. V. 61. N 20. P. 14 095
  24. Tamor M.A., Vassel W.C. // J. Appl. Phys. 1994. V. 76. P. 3823

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.

Учредители

Издатель

© 2024 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук
Powered by webapplicationthemes.com - High quality HTML Theme