Письма в журнал технической физики
Авторам
Вышедшие номера
- 2024
- 2023
- 2022
- 2021
- 2020
- 2019
- 2018
- 2017
- 2016
- 2015
- 2014
- 2013
- 2012
- 2011
- 2010
- 2009
- 2008
- 2007
- 2006
- 2005
- 2004
- 2003
- 2002
- 2001
- 2000
- 1999
- 1998
- 1997
- 1996
- 1995
- 1994
- 1993
- 1992
- 1991
- 1990
- 1989
- 1988
Полировка поверхности сверхтвердых материалов пучками газовых кластерных ионов
Иешкин А.Е.
1, Кушкина К.Д.1, Киреев Д.С.1, Ермаков Ю.А.2, Черныш В.С.1,2
1Московский государственный университет им. М.В. Ломоносова, Москва, Россия 
2Научно-исследовательский институт ядерной физики им. Д.В. Скобельцына Московского государственного университета им. М.В. Ломоносова, Москва, Россия
2Научно-исследовательский институт ядерной физики им. Д.В. Скобельцына Московского государственного университета им. М.В. Ломоносова, Москва, Россия
Email: ieshkin@physics.msu.ru
Поступила в редакцию: 16 августа 2016 г.
Выставление онлайн: 20 декабря 2016 г.
Проведено исследование влияния облучения газовыми кластерными ионами на топографию поверхности карбида кремния и алмаза. С помощью атомно-силовой микроскопии показано, что воздействие на эти материалы кластерных ионов с энергией 10 keV и дозами более 1016 cm-2 приводит к сглаживанию рельефа поверхности. Приведены оценки скорости травления и эффективности сглаживания рельефа в зависимости от толщины удаленного слоя вещества. С помощью спектроскопии комбинационного рассеяния света продемонстрировано отсутствие дефектов, вносимых облучением кластерными ионами в объем мишени. DOI: 10.21883/PJTF.2017.02.44182.16459
- Лебедев А.А., Давыдов С.Ю., Сорокин Л.М., Шахов Л.В. // Письма в ЖТФ. 2015. Т. 41. В. 23. С. 89--94. [ Lebedev A.A. et al. // Tech. Phys. Lett. 2015. V. 41. N 12. P. 1156--1158]
- Вавилов В.С. // УФН. 1997. Т. 167. N 1. С. 17--22. [ Vavilov V.S. // Phys. Usp. 1997. V. 40. P. 15--20]
- Kubota A., Fukuyama S., Ichimori Y., Touge M. // Diamond Relat. Mater. 2012. V. 24. P. 59--62. [ Kubota A. et al. // Diamond Relat. Mater. 2012. V. 24. P. 59--62]
- Andreev A.A., Chernysh V.S., Ermakov Yu.A., Ieshkin A.E. // Vacuum. 2013. V. 91. P. 47--53. [ Andreev A.A. et al. // Vacuum. 2013. V. 91. P. 47--53]
- Fathy D., Holland O.W., Liu R. et al. // Mater. Lett. 2000. V. 44. P. 248--252. [ Fathy D. et al. // Mater. Lett. 2000. V. 44. P. 248--252]
- Toyoda N., Hagiwara N., Matsuo J., Yamada I. // Nucl. Instr. Meth. B. 1999. V. 148. P. 639--644. [ Toyoda N. et al. // Nucl. Instr. Meth. B. 1999. V. 148. P. 639--644]
- Иешкин А.Е., Шемухин А.А., Ермаков Ю.А., Черныш В.С. // ВМУ. Сер. 3. 2016. N 1. C. 72--76. [ Ieshkin A.E. et al. // Moscow University Physics Bulletin. 2016. V. 71. N 1. P. 87--90]
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
