Вышедшие номера
Колебания фронта кристаллизации, вызванные гармоническими осцилляциями скорости вытягивания, для цилиндрической фазы роста кристалла
Васильев М.Г.1
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
Email: vasiliev.mg@yandex.ru
Поступила в редакцию: 16 июля 2016 г.
Выставление онлайн: 20 января 2017 г.

Для низкоградиентного способа выращивания Чохральского предложен метод измерения площади поперечного сечения кристалла с помощью весового датчика по разнице его показаний в крайних положениях штока при ступенчатом и непрерывном режиме модуляции cкорости вытягивания. Произведена оценка изменения скорости кристаллизации при гармонических колебаниях скорости вытягивания с целью сохранения качества выращиваемого кристалла при этом методе измерения. DOI: 10.21883/PJTF.2017.03.44222.16427