Колебания фронта кристаллизации, вызванные гармоническими осцилляциями скорости вытягивания, для цилиндрической фазы роста кристалла
Васильев М.Г.1
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
Email: vasiliev.mg@yandex.ru
Поступила в редакцию: 16 июля 2016 г.
Выставление онлайн: 20 января 2017 г.
Для низкоградиентного способа выращивания Чохральского предложен метод измерения площади поперечного сечения кристалла с помощью весового датчика по разнице его показаний в крайних положениях штока при ступенчатом и непрерывном режиме модуляции cкорости вытягивания. Произведена оценка изменения скорости кристаллизации при гармонических колебаниях скорости вытягивания с целью сохранения качества выращиваемого кристалла при этом методе измерения. DOI: 10.21883/PJTF.2017.03.44222.16427
- Bardsley W., Cockayne B. et al. // J. Cryst. Growth. 1974. V. 24/25. P. 369
- Bardsley W., Hurle D.T.J., Joyce G.C. // J. Cryst. Growth. 1977. V. 40. P. 13
- Gevelber M.A., Stephanopoulos G. et al. // J. Cryst. Growth. 1988. V. 91. P. 199
- Satunkin G., Leonov A. // J. Cryst. Growth. 1990. V. 102. P. 592
- Abrosimov N.V., Kurlov V.N., Rossolenko S.N. // Prog. Cryst. Growth Charact. Mater. 2003. V. 46. P. 1
- Satunkin G. // Prog. Cryst. Growth Charact. Mater. 2010. V. 56. P. 1
- Winkler J., Neubert M., Rudolph J. // J. Cryst. Growth. 2010. V. 312. P. 1005
- Winkler J., Neubert M., Rudolph J. // J. Cryst. Growth. 2010. V. 312. P. 1019
- Neubert M., Winkler J. // J. Cryst. Growth. 2012. V. 360. P. 3
- Neubert M., Winkler J. // J. Cryst. Growth. 2014. V. 404. P. 210
- Meurer F., Neubert M., Werner N. // J. Cryst. Growth. 2015. V. 419. P. 57
- Саханский С.П. // Вестник Cиб. гос. аэрокосмич. ун-та им. акад. М.Ф. Решетникова. 2010. В. 5. С. 254
- Bondarenko S.K., Goriletsky V.I., Suzdal V.S. // Funct. Mater. 1999. V. 6. P. 380
- Kasimkin P.V., Moskovskih V.A. et al. // J. Cryst. Growth. 2014. V. 390. P. 67
- Moskovskih V.A., Kasimkin P.V. et al. // J. Cryst. Growth. 2014. V. 401. P. 767
- Ван-Дайк М. Методы возмущений в механике жидкости. М.: Мир, 1967. С. 68
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.