Влияние длины затвора на скорость инжекции электронов в каналах полевых транзисторов на основе AlGaN/AlN/GaN
Михайлович С.В.
1, Галиев Р.Р.
1, Зуев А.В.
1, Павлов А.Ю.
1, Пономарев Д.С.
1, Хабибуллин Р.А.
11Институт сверхвысокочастотной полупроводниковой электроники Российской академии наук, Москва, Россия
Email: khabibullin@isvch.ru
Поступила в редакцию: 1 февраля 2017 г.
Выставление онлайн: 20 июля 2017 г.
Исследованы полевые транзисторы с высокой подвижностью электронов (HEMT) на основе AlGaN/AlN/GaN с разной длиной затвора Lg. Значения максимальных частот усиления по току fT и однонаправленного коэффициента усиления fmax составили 88 и 155 GHz для транзисторов с Lg =125 nm и 26 и 82 GHz для транзисторов с Lg = 360 nm соответственно. На основе измеренных S-параметров проведена экстракция значений элементов малосигнальных эквивалентных схем AlGaN/AlN/GaN HEMT и определена зависимость скорости инжекции vinj от напряжения затвор-исток. Также исследовано влияние длины затвора и напряжения между стоком и истоком на величину vinj. DOI: 10.21883/PJTF.2017.16.44927.16727
- Quay R. Gallium nitride electronics. Berlin-Heidelberg: Springer, 2008. 469 p
- Shinohara K., Regan D.C., Yan Tang R. et al. // IEEE Trans. Electron Devices. 2013. V. 60. N 10. P. 2982--2996
- Lee D.S., Liu Z., Palacios T. // Jpn. J. Appl. Phys. 2014. V. 53. N 10. P. 100212 (1--10)
- Фёдоров Ю.В., Михайлович С.В. // Нано- и микросистемная техника. 2016. Т. 18. N 4. С. 217--226
- Томош К.Н., Павлов A.Ю., Павлов В.Ю., Хабибуллин Р.A. и др. // ФТП. 2016. Т. 50. В. 10. С. 1434--1438
- Галиев Р.Р., Ячменев A.Э., Бугаев A.С. и др. // Изв. РАН. Сер. физ. 2016. Т. 80. N 4. С. 522--524
- Kim D.-H., del Alamo J.A., Antoniadis D.A., Brar B. // IEEE IEDM Tech. Dig. 2009. P. 861--864
- Михайлович С.В., Фёдоров Ю.В., Бугаев А.С. и др. // Докл. ТУСУР. 2011. Т. 2. N 2. Ч. 2. С. 31--35
- Фёдоров Ю.В., Михайлович С.В. // Нано- и микросистемная техника. 2014. N 10. С. 12--17
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.